| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-27页 |
| ·研究背景 | 第18-19页 |
| ·晶硅薄膜太阳电池简介 | 第19-25页 |
| ·太阳电池发展简介 | 第19-22页 |
| ·晶硅薄膜太阳电池简介 | 第22-25页 |
| ·本文的研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 薄膜的制备方法及原理 | 第27-46页 |
| ·主要实验设备及原料 | 第27-28页 |
| ·主要实验设备原理介绍 | 第28-35页 |
| ·热丝 CVD 简介 | 第28-31页 |
| ·LPCVD 简介 | 第31-32页 |
| ·电化学全面积腐蚀单晶硅片制备双层多孔硅简介 | 第32-35页 |
| ·快速热退火简介 | 第35页 |
| ·实验方法 | 第35-38页 |
| ·衬底清洗 | 第35-36页 |
| ·热丝 CVD 沉积硅薄膜 | 第36-37页 |
| ·LPCVD 外延晶硅薄膜 | 第37页 |
| ·电化学腐蚀制备双层多孔硅 | 第37页 |
| ·快速热退火处理 | 第37-38页 |
| ·电极制备 | 第38页 |
| ·样品性能表征方法及原理 | 第38-46页 |
| ·X 射线衍射 | 第38-39页 |
| ·Raman 散射光谱 | 第39-40页 |
| ·傅里叶变换红外谱(FT-IR) | 第40-41页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第41页 |
| ·台阶仪 | 第41-42页 |
| ·变温电导率 | 第42-43页 |
| ·薄膜光响应 | 第43页 |
| ·太阳电池转换效率 | 第43-44页 |
| ·太阳电池外量子效率 | 第44-46页 |
| 第三章 热丝 CVD 制备硅薄膜研究 | 第46-61页 |
| ·热丝温度对硅薄膜性能的影响 | 第46-49页 |
| ·衬底温度对硅薄膜性能的影响 | 第49-51页 |
| ·H_2稀释比对硅薄膜及其 p-n 结性能的影响 | 第51-56页 |
| ·不同衬底对热丝 CVD 制备多晶硅薄膜性能的影响 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 快速热退火制备多晶硅薄膜研究 | 第61-75页 |
| ·退火温度对快速热退火晶化法制备多晶硅薄膜性能影响 | 第61-66页 |
| ·退火时间对快速热退火晶化法制备多晶硅薄膜性能影响 | 第66-69页 |
| ·不同退火条件对多晶硅薄膜 p-n 结耐高温特性的影响 | 第69-70页 |
| ·不同工艺对厚度为微米级多晶硅薄膜与衬底粘附性的影响 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 薄膜型 HIT 太阳电池关键工艺研究 | 第75-95页 |
| ·LPCVD 外延晶硅薄膜的性能 | 第76-79页 |
| ·钝化层沉积温度对薄膜型 HIT 太阳电池性能的影响 | 第79-84页 |
| ·不同 H_2稀释比沉积钝化层对薄膜型 HIT 太阳电池性能的影响 | 第84-87页 |
| ·发射极厚度对薄膜型 HIT 太阳电池性能的影响 | 第87-88页 |
| ·发射极掺杂浓度对薄膜型 HIT 太阳电池性能的影响 | 第88-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第六章 衬底偏压对热丝 CVD 沉积微晶硅薄膜及其太阳电池性能的影响 | 第95-121页 |
| ·衬底偏压对硅薄膜结构性能的影响 | 第95-106页 |
| ·衬底偏压对较低热丝温度沉积微晶硅薄膜性能的影响 | 第95-97页 |
| ·热丝温度对衬底偏压辅助热丝 CVD 沉积微晶硅薄膜性能的影响 | 第97-99页 |
| ·衬底偏压对不同类型衬底上沉积硅薄膜性能的影响 | 第99-102页 |
| ·衬底偏压对高氢气稀释比沉积硅薄膜性能的影响 | 第102-106页 |
| ·衬底偏压对掺杂微晶硅薄膜电学性能的影响 | 第106-114页 |
| ·衬底偏压对 p 型微晶硅薄膜电学性能的影响 | 第106-111页 |
| ·衬底偏压对 n 型微晶硅薄膜电学性能的影响 | 第111-114页 |
| ·衬底偏压对热丝 CVD 制备 n+nipp+太阳电池性能的影响 | 第114-119页 |
| ·不同衬底偏压对 n+n-i-pp+太阳电池性能的影响 | 第114-116页 |
| ·不同掺杂层厚度对 n+n-i-pp+太阳电池性能的影响 | 第116-117页 |
| ·不同吸收层厚度对 n+n-i-pp+太阳电池性能的影响 | 第117-119页 |
| ·本章小结 | 第119-121页 |
| 第七章 结论及展望 | 第121-125页 |
| ·结论 | 第121-122页 |
| ·本文主要创新点 | 第122-123页 |
| ·展望 | 第123-125页 |
| 参考文献 | 第125-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第137-139页 |
