| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第11-12页 |
| ·碳纳米管简介 | 第12-17页 |
| ·碳纳米管的结构特征 | 第12-14页 |
| ·碳纳米管的主要性能及典型应用 | 第14-17页 |
| ·碳纳米管/金属互连结构研究现状 | 第17-23页 |
| ·碳纳米管的装配 | 第17-19页 |
| ·碳纳米管/金属界面行为 | 第19-21页 |
| ·改善碳纳米管/金属接触特性的方法 | 第21-23页 |
| ·本文的研究内容 | 第23-24页 |
| 参考文献 | 第24-31页 |
| 第二章 碳纳米管/金属界面键合的分子模拟 | 第31-55页 |
| ·分子模拟方法简介 | 第31-37页 |
| ·第一原理计算方法 | 第31-33页 |
| ·分子动力学方法 | 第33-37页 |
| ·碳纳米管与金属表面键合行为的分子动力学模拟 | 第37-53页 |
| ·碳纳米管/金属接触界面分子动力学模型 | 第38-39页 |
| ·碳纳米管与金属的键合机制 | 第39-44页 |
| ·碳纳米管直径对键合界面结构的影响 | 第44-48页 |
| ·金属种类对键合界面结构的影响 | 第48-49页 |
| ·冷却对碳纳米管/金属界面键合结构的影响 | 第49-50页 |
| ·键合界面失效分析 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 第三章 金属对碳纳米管表面的浸润特性研究 | 第55-71页 |
| ·碳纳米管对金属的吸附作用 | 第55-59页 |
| ·碳纳米管对不同金属原子的吸附作用 | 第55-57页 |
| ·碳纳米管结构对金属原子吸附的影响 | 第57-59页 |
| ·金属纳米团簇对碳纳米管表面的浸润作用 | 第59-60页 |
| ·金属原子在碳纳米管表面的沉积 | 第60-63页 |
| ·表面电荷对碳纳米管/金属界面键合的影响 | 第63-68页 |
| ·包含界面电荷的碳纳米管/金属键合分子动力学模型 | 第64-65页 |
| ·电荷大小对键合界面的影响 | 第65页 |
| ·去除电荷对键合界面的影响 | 第65-67页 |
| ·冷却对键合界面的影响 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 第四章 水平定向碳纳米管与金属微电极的键合研究 | 第71-103页 |
| ·水平定向碳纳米管在微电极上的装配 | 第71-78页 |
| ·介电电泳方法装配碳纳米管的基本原理 | 第71-76页 |
| ·介电电泳方法装配碳纳米管的实验研究 | 第76-78页 |
| ·高频感应加热技术 | 第78-84页 |
| ·电磁感应加热的基本原理 | 第78-81页 |
| ·高频感应加热系统设计 | 第81-84页 |
| ·基于高频感应加热原理的碳纳米管/金属界面键合技术 | 第84-99页 |
| ·碳纳米管与金属电极键合的实验研究 | 第84-87页 |
| ·碳纳米管与金属电极键合结构的电学性能测试 | 第87-90页 |
| ·微电极感应加热的多物理场建模 | 第90-98页 |
| ·碳纳米管与金属键合的原子模拟 | 第98-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-103页 |
| 第五章 垂直定向碳纳米管阵列与金属衬底的键合技术 | 第103-125页 |
| ·纳米界面热压扩散键合机理 | 第104-110页 |
| ·纳米界面热压键合分子动力学模型 | 第104-105页 |
| ·碳纳米管与金属团簇的连接 | 第105-107页 |
| ·温度对热压扩散键合过程的影响 | 第107-109页 |
| ·外部压力对热压扩散键合过程的影响 | 第109-110页 |
| ·垂直定向碳纳米管阵列与金属衬底键合的实验研究 | 第110-122页 |
| ·垂直定向碳纳米管的制备 | 第111-112页 |
| ·垂直定向碳纳米管阵列表面金属团簇的生成 | 第112-114页 |
| ·垂直定向碳纳米管与金属衬底的键合与转移实验研究 | 第114-119页 |
| ·垂直定向碳纳米管与金属衬底的键合结构电学性能测试 | 第119-122页 |
| ·本章小结 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-125页 |
| 第六章 结束语 | 第125-128页 |
| ·总结 | 第125-126页 |
| ·创新点 | 第126页 |
| ·展望 | 第126-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 攻读博士学位期间已发表的论文 | 第129-131页 |