| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·太阳能电池研究现状 | 第8-10页 |
| ·太阳能电池的分类及优缺点 | 第8-9页 |
| ·晶体硅电池的发转趋势 | 第9-10页 |
| ·单晶硅太阳能电池简介 | 第10-15页 |
| ·单晶硅电池的制备方法 | 第10-12页 |
| ·直拉单晶娃的生产工艺 | 第12-13页 |
| ·直拉单晶硅的制备技术及发展现状 | 第13-15页 |
| ·本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 大直径直拉单晶硅生长理论和模型建立 | 第17-25页 |
| ·单晶硅生长理论 | 第17-20页 |
| ·直拉单晶硅中的熔体对流 | 第17-18页 |
| ·各工艺参数对单晶生长的影响 | 第18-20页 |
| ·CGsim软件简介 | 第20页 |
| ·模型建立 | 第20-25页 |
| ·直拉单晶炉介绍 | 第20-21页 |
| ·数值模型介绍 | 第21-25页 |
| 第三章 磁场拉晶参数的确定 | 第25-39页 |
| ·勾型磁场作用原理 | 第25页 |
| ·磁场结构的确定 | 第25-33页 |
| ·磁场位置的确定 | 第26-30页 |
| ·上下线圈电流比值的确定 | 第30-33页 |
| ·磁场强度对大直径直拉单晶硅过程的影响 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-39页 |
| 第四章 晶埚转和拉速对大直径直拉单晶硅生产过程的影响 | 第39-49页 |
| ·埚转的影响 | 第39-42页 |
| ·晶转的影响 | 第42-45页 |
| ·拉速的影响 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 氩气进口流动对大直径直拉单晶硅生产参数的影响 | 第49-69页 |
| ·不同氩气进口流速下自由表面上方气体流场的演变过程 | 第49-53页 |
| ·不同氩气进口流速下热屏外侧体气体流场的演变 | 第49-51页 |
| ·不同氣气进口流速下琳祸拐角处气体流场的演变 | 第51-53页 |
| ·不同氩气进口流速对自由表面的影响 | 第53-56页 |
| ·氩气流速对自由表面上氧含量分布的影响 | 第53-55页 |
| ·氩气进口流速对自由表面温度分布的影响 | 第55-56页 |
| ·氩气进口流速对熔体的影响 | 第56-58页 |
| ·不同氦气进口流速卜溶体对流的演变 | 第56-57页 |
| ·氩气流速对固液界面的影响 | 第57-58页 |
| ·不同氩气进口速度下熔体的温度分布及氧含量 | 第58-62页 |
| ·氩气进口流速对熔体温度分布的影响 | 第58-61页 |
| ·氩气流速对熔体中氧含量的影响 | 第61-62页 |
| ·不同氩气进口流速对晶体的影响 | 第62-66页 |
| ·不同氩气进口流速下弯月面上方气体流场演变 | 第62-64页 |
| ·不同氩气进口流速下晶体中热应力的分布 | 第64-66页 |
| ·氩气流速对晶体中氧含量的影响 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-69页 |
| 第六章 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 个人简介 | 第77页 |
