| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·纳米硬质薄膜的分类 | 第11-12页 |
| ·纳米复合薄膜的结构及类型 | 第12页 |
| ·纳米复合薄膜的结构 | 第12页 |
| ·纳米复合薄膜的类型 | 第12页 |
| ·本论文研究的意义 | 第12-14页 |
| ·本论文研究的内容 | 第14-15页 |
| 第二章 实验设备与测试仪器 | 第15-17页 |
| ·多靶磁控共溅射设备 | 第15页 |
| ·薄膜的结构性能表征 | 第15-16页 |
| ·薄膜的晶面取向测试 | 第15页 |
| ·薄膜的成分、元素含量和结合能测试 | 第15-16页 |
| ·薄膜的力学性能表征 | 第16-17页 |
| ·薄膜的厚度、残余应力测试 | 第16页 |
| ·薄膜的硬度测试和膜基结合力测试 | 第16-17页 |
| 第三章 Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构与力学性能 | 第17-35页 |
| ·Zr-Nb-N纳米复合薄膜的制备 | 第17页 |
| ·溅射功率对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构与力学性能的影响 | 第17-20页 |
| ·溅射功率对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构性能的影响 | 第17-20页 |
| ·基底偏压对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构与力学性能的影响 | 第20-27页 |
| ·基底偏压对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构性能的影响 | 第21-25页 |
| ·基底偏压对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的力学性能的影响 | 第25-27页 |
| ·沉积温度对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构与力学性能的影响 | 第27-31页 |
| ·沉积温度对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构性能的影响 | 第27-29页 |
| ·沉积温度对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的力学性能的影响 | 第29-31页 |
| ·工作气压对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构与力学性能的影响 | 第31-33页 |
| ·工作气压对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的结构性能的影响 | 第31页 |
| ·工作气压对Zr-Nb-N纳米复合薄膜的力学性能的影响 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第四章 Re-B-Ti-N纳米复合薄膜的结构与力学性能 | 第35-43页 |
| ·Re-B-Ti-N纳米复合薄膜的制备 | 第35页 |
| ·实验参数对Re-B-Ti-N纳米复合薄膜的结构与力学性能的影响 | 第35-42页 |
| ·溅射功率对Re-B-Ti-N纳米复合薄膜的结构性能的影响 | 第35-40页 |
| ·溅射功率对Re-B-Ti-N纳米复合薄膜的力学性能的影响 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 总结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 发表文章目录 | 第48-50页 |
| 硕士在读期间获奖情况 | 第50页 |
| 硕士在读期间参加的会议 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51页 |
