太赫兹频谱可重构MEMS超材料研究

致谢	第1-6页
中文摘要	第6-7页
ABSTRACT	第7-11页
1. 引言	第11-15页
·研究背景及意义	第11-12页
·研究现状	第12-13页
·论文的主要工作和章节安排	第13-15页
2. 共振频率连续可调的太赫兹超材料	第15-29页
·基本原理	第15-19页
·细金属线晶格结构的电响应	第15-16页
·开口环共振结构的磁响应	第16-17页
·细金属线和开口环组合结构的超材料的电磁响应	第17-18页
·超材料的等效LC电路模型	第18-19页
·设计和仿真	第19-23页
·工艺设计	第23-27页
·总结	第27-29页
3. 共振频率连续可调的太赫兹超材料吸收器	第29-41页
·基本原理	第29-31页
·设计和仿真	第31-36页
·工艺设计	第36-38页
·总结	第38-41页
4. MEMS热驱动执行器	第41-55页
·基本原理	第41-47页
·材料特性	第43-44页
·电热模型	第44-46页
·热机械模型	第46-47页
·设计和仿真	第47-52页
·执行器驱动超材料阵列结构的工艺设计	第52-53页
·总结	第53-55页
5. 柔性超材料的制备和测试	第55-69页
·柔性超材料设计和仿真	第55-59页
·工艺流程	第59-63页
·测试结果和讨论	第63-69页
6. 总结	第69-71页
参考文献	第71-75页
作者简历	第75-79页
学位论文数据集	第79页