| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·选题概述 | 第8-11页 |
| ·论文主要内容 | 第11-13页 |
| 2 C-MEMS工艺及超级电容的测试基础 | 第13-19页 |
| ·实验材料及仪器 | 第13-14页 |
| ·C-MEMS的典型工艺 | 第14-17页 |
| ·结构表征及超级电容测试的基础 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3 C-MEMS的碳结构和工艺改进及其超级电容的特性 | 第19-26页 |
| ·C-MEMS悬浮结构 | 第19-23页 |
| ·C-MEMS褶皱表面结构 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 4 C-MEMS非碳材料的集成结构及其超级电容的特性 | 第26-57页 |
| ·C-MEMS/SiO_2集成结构 | 第26-45页 |
| ·C-MEMS/MnO2集成结构 | 第45-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 结论与展望 | 第57-59页 |
| ·本文结论 | 第57页 |
| ·工作展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 附录 攻读硕士期间的论文及专利 | 第65-66页 |