共基面二维扫描同步计量工作台研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·研究背景 | 第8页 |
| ·二维扫描平台研究现状 | 第8-12页 |
| ·位移计量方法的应用 | 第12-13页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 共基面二维扫描工作台结构设计 | 第15-29页 |
| ·工作台整体方案设计 | 第15-16页 |
| ·工作台机械结构设计 | 第16-19页 |
| ·关键零部件的有限元分析 | 第19-22页 |
| ·机械传动零部件设计 | 第22-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 二维位移同步计量系统的研究 | 第29-42页 |
| ·光栅莫尔条纹形成原理 | 第29-32页 |
| ·双正交衍射光栅计量方法研究 | 第32-35页 |
| ·莫尔条纹的光电接收与信号处理方法 | 第35-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 工作台系统整体构建及性能分析 | 第42-58页 |
| ·工作台样机的完成 | 第42-43页 |
| ·工作台驱动设计 | 第43-49页 |
| ·PC 机并口对步进电机的控制 | 第43-46页 |
| ·工作台控制软件设计 | 第46-49页 |
| ·计量系统信号调试 | 第49-51页 |
| ·整体系统的构建 | 第51-52页 |
| ·性能分析 | 第52-57页 |
| ·本章总结 | 第57-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·全文总结 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文目录 | 第64页 |
