单层结构六自由度微位移工作台的位姿模型研究与仿真
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·课题研究意义 | 第8-9页 |
| ·微位移机构的系统组成 | 第9-10页 |
| ·微位移机构的国内外研究状况 | 第10-14页 |
| ·压电陶瓷驱动电压的研究状况 | 第14-17页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第17-20页 |
| 2 微位移工作台定位原理与优化设计 | 第20-32页 |
| ·微位移工作台单自由度的定位原理 | 第20-23页 |
| ·位姿控制模型的建立 | 第23-25页 |
| ·微位移工作台的机构设计 | 第25-27页 |
| ·微位移工作台的优化设计 | 第27-31页 |
| ·建立结构优化后的位姿控制模型 | 第27-30页 |
| ·优化后工作台的机构设计 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 微位移工作台位姿控制模型的计算与验证 | 第32-48页 |
| ·位姿模型的 MATLAB 计算 | 第32-37页 |
| ·ANSYS 模型验证 | 第37-46页 |
| ·ANSYS 概述 | 第37-38页 |
| ·ANSYS 仿真分析过程 | 第38-40页 |
| ·位姿控制模型的验证 | 第40-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 4 PZT 微驱动器复合控制方法的研究 | 第48-68页 |
| ·压电陶瓷 | 第48-50页 |
| ·压电和电致伸缩效应 | 第48-49页 |
| ·压电陶瓷驱动的原理分析 | 第49-50页 |
| ·PZT 微驱动器基本特性分析及改进措施 | 第50-52页 |
| ·迟滞特性 | 第50-51页 |
| ·蠕变特性 | 第51-52页 |
| ·非线性特性 | 第52页 |
| ·其他特性 | 第52页 |
| ·反馈信号的采集方法 | 第52-56页 |
| ·传感器信号采集法 | 第53-54页 |
| ·基于 PSD 空间位置检测信号采集法 | 第54-55页 |
| ·自感知执行器信号采集法 | 第55-56页 |
| ·PZT 微驱动器控制系统的研究 | 第56-66页 |
| ·压电陶瓷迟滞控制模型 | 第57-60页 |
| ·PID 控制器 | 第60-63页 |
| ·多通道驱动电源的设计 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 5 微位移工作台的实验研究 | 第68-72页 |
| ·标定实验系统的搭建 | 第68-69页 |
| ·定位精度与误差分析 | 第69-70页 |
| ·定位精度分析 | 第69页 |
| ·误差分析 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 6 全文总结 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
