| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·MEMS 技术简介 | 第9-11页 |
| ·微结构气体传感器关键技术及研究现状 | 第11-14页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 微热板的理论分析与设计 | 第15-32页 |
| ·微热板的基本原理 | 第15-20页 |
| ·微热板的结构设计与材料选取 | 第20-24页 |
| ·微热板的尺寸设计 | 第24-28页 |
| ·微热板的工艺流程及掩模设计 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 微热板的有限元模拟 | 第32-45页 |
| ·数值模拟综述 | 第32-35页 |
| ·微热板的COMSOL 建模 | 第35-39页 |
| ·微热板的模拟结果分析 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 微热板的制作工艺 | 第45-66页 |
| ·微热板的制作工艺介绍 | 第45-55页 |
| ·微热板的制作工艺流程 | 第55-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第73页 |