ZnO微纳米结构的CVD法生长及其在压电应力传感器中的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 引言 | 第9-11页 |
| 1 氧化锌(ZnO)材料概述 | 第11-26页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第11-16页 |
| ·ZnO的物理性质 | 第11-12页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·ZnO的多种形貌 | 第13-15页 |
| ·ZnO的电学特性 | 第15-16页 |
| ·ZnO的光学特性 | 第16页 |
| ·ZnO微纳米结构的特性及应用 | 第16-24页 |
| ·力学特性 | 第16-17页 |
| ·场发射特性 | 第17-18页 |
| ·气敏特性 | 第18-19页 |
| ·压电特性 | 第19-24页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第24-26页 |
| 2 ZnO微纳米结构的生长方法和表征手段 | 第26-34页 |
| ·ZnO微纳米结构的生长方法 | 第26-30页 |
| ·水热法 | 第26页 |
| ·热蒸发法 | 第26-27页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-gel) | 第27-28页 |
| ·自组装法 | 第28页 |
| ·模板法 | 第28-29页 |
| ·化学气相沉积法(CVD) | 第29-30页 |
| ·表征手段 | 第30-32页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第30-31页 |
| ·半导体特性测试系统 | 第31-32页 |
| ·本文中使用的实验设备 | 第32-33页 |
| ·化学气相沉积系统 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 ZnO微米树状结构的生长及表征 | 第34-39页 |
| ·ZnO微米树状结构的生长 | 第34-35页 |
| ·实验准备 | 第34-35页 |
| ·生长过程 | 第35页 |
| ·ZnO微米树状结构的表征及分析 | 第35-38页 |
| ·形貌表征 | 第35-37页 |
| ·生长机理分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 ZnO微米球状结构的生长及表征 | 第39-43页 |
| ·ZnO微米球状结构的生长 | 第39-40页 |
| ·形貌表征 | 第40-41页 |
| ·生长机理分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 5 ZnO微米刺球压电应力传感器研究 | 第43-49页 |
| ·器件制备 | 第43-44页 |
| ·器件的I-V特性 | 第44-45页 |
| ·器件的压电应变特性 | 第45-47页 |
| ·器件的工作原理 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
