| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-22页 |
| ·前言 | 第8页 |
| ·透明导电材料简介 | 第8-10页 |
| ·ZnO的晶体结构与性质 | 第10-12页 |
| ·氧化锌基薄膜的导电机理 | 第12-13页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的应用 | 第13-15页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的制备技术 | 第15-18页 |
| ·ZAO薄膜在国内外的研究现状 | 第18-20页 |
| ·本论文的选题依据和研究内容 | 第20-21页 |
| ·研究工作的创新点 | 第21-22页 |
| 第二章 实验样品制备方法与表征 | 第22-30页 |
| ·主要试剂及仪器设备 | 第22-23页 |
| ·实验试剂 | 第22页 |
| ·实验仪器设备 | 第22-23页 |
| ·实验样品制备方法 | 第23-26页 |
| ·溶胶-凝胶法原理 | 第23-24页 |
| ·磁控溅射法 | 第24-26页 |
| ·样品表征设备 | 第26-30页 |
| ·紫外-可见分光光度计 | 第26-27页 |
| ·荧光光谱仪 | 第27-28页 |
| ·X射线衍射仪 | 第28页 |
| ·四探针电阻仪 | 第28-30页 |
| 第三章 高价态钨掺杂ZnO薄膜的结构与光学性质研究 | 第30-35页 |
| ·钨掺杂ZnO薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-34页 |
| ·XRD分析 | 第31页 |
| ·紫外-可见光谱分析 | 第31-33页 |
| ·荧光光谱分析 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第四章 氟-铝共掺杂ZnO薄膜的结构与光学性质研究 | 第35-42页 |
| ·氟、铝共掺杂ZnO薄膜的制备 | 第35-36页 |
| ·实验结果与讨论 | 第36-41页 |
| ·XRD分析 | 第36-38页 |
| ·氟铝复合掺杂对ZnO薄膜光学透过率的影响 | 第38-39页 |
| ·氟铝复合掺杂对ZnO薄膜荧光发光的影响 | 第39-41页 |
| ·实验小结 | 第41-42页 |
| 第五章 铝掺杂氧化锌薄膜的结构与光电性能研究 | 第42-55页 |
| ·铝掺杂氧化锌薄膜的制备 | 第42-43页 |
| ·氧分压对AZO薄膜结构和光电性能的影响 | 第43-47页 |
| ·氧分压对AZO薄膜结构的影响 | 第43-45页 |
| ·氧分压对AZO薄膜光学性能的影响 | 第45-46页 |
| ·氧分压对AZO薄膜电学性能的影响 | 第46-47页 |
| ·衬底温度对ZAO薄膜结构和光电性能的影响 | 第47-50页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜结构的影响 | 第47-48页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜光学性能的影响 | 第48-50页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜电学性能的影响 | 第50页 |
| ·沉积时间对ZAO薄膜结构和光电性能的影响 | 第50-53页 |
| ·沉积时间对AZO薄膜结构的影响 | 第51-53页 |
| ·沉积时间对AZO薄膜光学性能的影响 | 第53页 |
| ·实验小结 | 第53-55页 |
| 第六章 研究总结 | 第55-57页 |
| ·实验结论 | 第55-56页 |
| ·溶胶-凝胶法制备氟-铝共掺氧化锌薄膜实验结论 | 第55页 |
| ·溶胶-凝胶法制备掺钨氧化锌薄膜实验结论 | 第55页 |
| ·直流磁控溅射法制备掺铝氧化锌薄膜实验结论 | 第55-56页 |
| ·课题还有待开展的后续研究 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第64-65页 |