| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·超薄铁电薄膜的研究现状及发展趋势 | 第11-14页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第11-13页 |
| ·研究现状及发展趋势 | 第13-14页 |
| ·铁电薄膜的制备及表征 | 第14-17页 |
| ·制备技术 | 第14-16页 |
| ·铁电薄膜的结构表征方法 | 第16-17页 |
| ·本论文的选题背景 | 第17-18页 |
| ·实验药品和仪器设备 | 第18-19页 |
| 第二章 超薄BaTiO_3薄膜的制备及其结构与性能表征 | 第19-29页 |
| ·靶材的制备 | 第19页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第19-22页 |
| ·衬底处理 | 第19-21页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第21-22页 |
| ·BaTiO_3薄膜的结构与性能表征 | 第22-28页 |
| ·BaTiO_3薄膜的表面形貌 | 第22-25页 |
| ·BaTiO_3薄膜的XRD图谱 | 第25-27页 |
| ·BaTiO_3薄膜的铁电性 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 超薄BaTiO_3薄膜的电输运特性的实验研究 | 第29-39页 |
| ·铁电薄膜中的电输运机制 | 第29-31页 |
| ·I-V特性测试与分析 | 第31-37页 |
| ·磁控溅射法制备的薄膜 | 第31-33页 |
| ·脉冲激光沉积法制备的薄膜 | 第33-37页 |
| ·C-V测试与界面势垒分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 超薄BaTiO_3薄膜的电致电阻效应与电输运机理 | 第39-48页 |
| ·电致电阻效应 | 第39-40页 |
| ·BaTiO_3薄膜中的电致电阻效应与电输运特点 | 第40-47页 |
| ·BaTiO_3薄膜中的电致电阻效应机理分析 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 全文总结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 硕士阶段发表论文 | 第55页 |
