| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-18页 |
| ·发展超精密加工技术及纳米加工技术的重要意义 | 第7-8页 |
| ·课题来源及研究的目的、意义 | 第8-9页 |
| ·超精密加工机理研究方法及国内外研究现状 | 第9-16页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 基于分子动力学的单晶硅切削仿真程序设计 | 第18-32页 |
| ·分子动力学模拟方法简介 | 第18-23页 |
| ·分子动力学方法的理论研究 | 第18-19页 |
| ·分子动力学方法的基本原理 | 第19页 |
| ·分子间作用力的计算 | 第19-21页 |
| ·基本运动方程 | 第21-22页 |
| ·求解运动方程算法推导 | 第22-23页 |
| ·势函数的选择 | 第23页 |
| ·单晶硅纳米切削过程分子动力学仿真方法 | 第23-30页 |
| ·仿真模型 | 第23-25页 |
| ·仿真条件 | 第25-26页 |
| ·分子动力学仿真程序设计 | 第26-28页 |
| ·用于单晶Si纳米切削过程计算的Tersoff势函数 | 第28-30页 |
| ·分子动力学仿真的可视化 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 单次走刀单晶硅纳米加工表面质量仿真研究 | 第32-48页 |
| ·刀具前角对单晶硅纳米加工表面质量影响的研究 | 第32-37页 |
| ·刀具前角仿真参数的设定 | 第32-33页 |
| ·不同前角刀具切削加工仿真结果的研究 | 第33-37页 |
| ·刀具形状对单晶硅纳米加工表面质量影响的研究 | 第37-44页 |
| ·刀具形状仿真参数的设定 | 第37-38页 |
| ·球形刀具仿真结果的比较研究 | 第38-41页 |
| ·圆柱形刀具仿真结果的比较研究 | 第41-44页 |
| ·基于单次走刀的单晶硅纳米切削加工过程的理论分析 | 第44-46页 |
| ·能量分析 | 第44页 |
| ·切削力分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 多次走刀单晶硅纳米加工表面质量仿真研究 | 第48-66页 |
| ·多重切削路径对单晶硅纳米加工表面质量影响的研究 | 第48-53页 |
| ·多重切削路径的定义 | 第48-49页 |
| ·不同间距切削加工仿真结果的比较研究 | 第49-51页 |
| ·增加切削深度再次加工仿真结果的比较研究 | 第51-53页 |
| ·刀具前角对多次走刀单晶硅纳米加工表面质量影响的研究 | 第53-60页 |
| ·刀具前角及切削路径的定义 | 第53页 |
| ·仿真结果的比较研究 | 第53-60页 |
| ·不同刀具前角多次走刀表面形貌与粗糙度的比较研究 | 第60页 |
| ·刀具形状对多次走刀单晶硅纳米加工表面质量影响的研究 | 第60-64页 |
| ·刀具形状及切削路径的定义 | 第60页 |
| ·二次走刀仿真结果的比较研究 | 第60-64页 |
| ·不同半径球形刀具二次走刀表面形貌与粗糙度的比较研究 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
