| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第1章 引言 | 第7-16页 |
| ·太阳能电池的研究概况 | 第7页 |
| ·铁电材料概述 | 第7-8页 |
| ·铁电薄膜材料的研究现状与进展 | 第8-12页 |
| ·铁电薄膜的应用研究 | 第8-11页 |
| ·铁电薄膜的光伏效应机制 | 第11-12页 |
| ·PZT铁电薄膜的结构 | 第12-13页 |
| ·PZT铁电薄膜的研究现状与进展 | 第13-15页 |
| ·本文研究的主要内容及方法 | 第15-16页 |
| 第2章 铁电薄膜制备方法及其结构与性能测试技术 | 第16-25页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第16-20页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第16-17页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第17页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第17页 |
| ·溅射法 | 第17-20页 |
| ·CKJ-500D多靶磁控溅射镀膜系统 | 第20-21页 |
| ·常用的分析薄膜结构及参数的技术手段 | 第21-25页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第21-22页 |
| ·铁电综合测试系统 | 第22页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第22-25页 |
| 第3章 LNO薄膜电极的制备 | 第25-29页 |
| ·LNO薄膜的制备 | 第25-26页 |
| ·LNO薄膜的结构 | 第26-27页 |
| ·LNO薄膜的结晶取向 | 第26-27页 |
| ·LNO薄膜的表面形貌 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第4章 PZT铁电薄膜的制备及其结构与性能研究 | 第29-44页 |
| ·PZT铁电薄膜的制备 | 第29-30页 |
| ·PZT铁电薄膜的结构 | 第30-35页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析PZT铁电薄膜的结晶取向 | 第30-32页 |
| ·PZT薄膜的表面形貌 | 第32-35页 |
| ·PZT铁电薄膜的电学性能 | 第35-43页 |
| ·Ag顶电极的制备 | 第36页 |
| ·PZT薄膜的电学性能 | 第36-41页 |
| ·PZT薄膜的光电性能 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 实验结论与展望 | 第44-45页 |
| ·实验的主要结论 | 第44页 |
| ·研究工作展望 | 第44-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |