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ZnO纳米结构与器件的制备和研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
引言第11-13页
1 绪论第13-36页
   ·氧化锌(ZnO)概述第13-21页
     ·ZnO材料的基本性质第13-16页
     ·ZnO薄膜的生长方法第16-17页
     ·ZnO中的缺陷第17-19页
     ·ZnO材料的p型掺杂研究第19-21页
   ·ZnO薄膜应用第21-25页
   ·ZnO纳米结构及器件的研究进展第25-32页
     ·电致发光器件第27-28页
     ·纳米激光器第28-29页
     ·纳米发电机第29-31页
     ·ZnO纳米传感器第31-32页
   ·ZnO材料研究中尚待解决的主要问题第32-33页
   ·选题的依据和本人主要工作第33-36页
2 ZnO纳米结构的制备方法及表征第36-49页
   ·ZnO纳米结构的制备方法第36-39页
   ·相关表征手段第39-49页
     ·扫描隧道显微镜(STM)第39-40页
     ·X射线衍射谱(XRD)第40-42页
     ·透射电子显微镜(TEM)第42-44页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第44-46页
     ·原子力显微镜(AFM)第46-47页
     ·光致发光谱(PL)第47-48页
     ·其它测试方法第48-49页
3 脉冲激光沉积(PLD)制备ZnO纳米结构及其表征第49-66页
   ·引言第49-50页
   ·脉冲激光沉积设备原理、构造及相关参数第50-52页
     ·脉冲激光沉积技术第50-51页
     ·脉冲激光沉积系统的组成结构第51-52页
   ·PLD方法制备ZnO籽晶层诱导生长ZnO纳米棒第52-59页
     ·ZnO纳米棒阵列的制备过程第52-54页
     ·实验结果与分析讨论第54-58页
     ·小结第58-59页
   ·ZnO缓冲层上生长六棱ZnO纳米柱第59-64页
     ·实验制备过程第59页
     ·实验结果与分析讨论第59-63页
     ·PLD方法制备ZnO薄膜第63-64页
     ·小结第64页
   ·PLD方法在较高的衬底温度下生长ZnO第64-65页
   ·本章总结第65-66页
4 PLD法制备ZnO:P纳米结构的光学性质研究第66-85页
   ·引言第66-67页
   ·PLD法制备ZnO:P纳米棒阵列及其光学性质研究第67-78页
     ·实验及表征第67页
     ·表面形貌分析第67页
     ·结构特性分析第67-68页
     ·ZnO的光致发光机制分析第68-72页
     ·光学性质研究第72-78页
     ·小结第78页
   ·PLD法制备ZnO:P纳米针阵列及其光学性质研究第78-84页
     ·表面形貌分析第78页
     ·结构性质分析第78-79页
     ·光学性质研究第79-83页
     ·小结第83-84页
   ·本章总结第84-85页
5 CVD法制备奇特的ZnO:P纳米四角棱锥结构及其光学性质研究第85-98页
   ·引言第85页
   ·磷受主掺杂的理论研究第85-87页
   ·实验部分第87-88页
     ·实验装置第87-88页
     ·实验过程第88页
   ·样品的表征第88-97页
     ·表面形貌研究第88-90页
     ·区域电子衍射和X射线衍射测试第90-92页
     ·光学性质研究第92-97页
   ·本章总结第97-98页
6 ZnO纳米线场效应晶体管第98-105页
   ·引言第98-99页
   ·ZnO纳米场效应晶体管制作过程第99-101页
   ·ZnO纳米线的表征第101-102页
   ·ZnO纳米线场效应晶体管的整流特性第102-103页
   ·本章总结第103-105页
结论第105-107页
本文创新点摘要第107-108页
参考文献第108-116页
附录A ZnO材料的基本物理性质参数表第116-117页
附录B ZnO XRD衍射角度和晶面方向对应表第117-118页
攻读博士学位期间发表学术论文情况第118-120页
致谢第120-121页
作者简介第121-122页

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