| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-17页 |
| 第1章 绪论 | 第17-42页 |
| ·课题背景 | 第17-38页 |
| ·毛细管放电软X射线激光 | 第17-29页 |
| ·毛细管放电极紫外光刻光源 | 第29-38页 |
| ·毛细管放电极紫外光源研究的目的及意义 | 第38-41页 |
| ·软X射线激光 | 第38-39页 |
| ·极紫外光刻光源 | 第39-41页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第41-42页 |
| 第2章 毛细管放电软X射线激光研究的基本理论 | 第42-79页 |
| ·引言 | 第42-43页 |
| ·毛细管放电Z箍缩效应 | 第43-49页 |
| ·Z箍缩效应 | 第43-44页 |
| ·毛细管放电Z箍缩 | 第44-45页 |
| ·雪耙模型 | 第45-48页 |
| ·等离子体多次箍缩对雪耙模型的修正 | 第48-49页 |
| ·类氖氩系统原子参数研究 | 第49-56页 |
| ·离子的电子碰撞激发 | 第50-51页 |
| ·亚稳能级的单极激发 | 第51页 |
| ·Cowan程序 | 第51-53页 |
| ·类氖氩系统原子参数的计算 | 第53页 |
| ·粒子数反转的形成 | 第53-56页 |
| ·类氖氩等离子体动力学过程研究 | 第56-69页 |
| ·一维非平衡磁流体力学XDCH程序介绍 | 第56-57页 |
| ·动力方程的一维近似 | 第57-58页 |
| ·类氖氩46.9nm激光的模拟 | 第58-63页 |
| ·类氖氩46.9nm激光的准稳态增益 | 第63-69页 |
| ·相关参数的计算方法 | 第69-78页 |
| ·高增益所需的最大电子密度 | 第69-70页 |
| ·箍缩电流的计算 | 第70-72页 |
| ·激光输出能量的计算方法 | 第72-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第3章 毛细管放电软X射线激光装置和若干输出特性实验研究 | 第79-102页 |
| ·引言 | 第79页 |
| ·毛细管放电软X射线激光装置 | 第79-83页 |
| ·Marx发生器 | 第79-80页 |
| ·Blumlein传输线 | 第80-81页 |
| ·主开关 | 第81页 |
| ·毛细管放电室 | 第81-82页 |
| ·毛细管放电检测转接室设计 | 第82-83页 |
| ·预-主脉冲延时对激光输出影响的实验研究 | 第83-89页 |
| ·预-主脉冲的工作原理 | 第83-85页 |
| ·最佳工作气压的确定 | 第85-87页 |
| ·不同预-主脉冲延时的激光输出 | 第87-88页 |
| ·预-主脉冲延时作用的分析 | 第88-89页 |
| ·主开关电感对激光输出作用的实验研究 | 第89-93页 |
| ·主开关支座改进引起主开关电感对激光输出的影响 | 第89-90页 |
| ·改进前后的实验结果 | 第90-91页 |
| ·改进后的效果 | 第91-92页 |
| ·对激光参数的影响 | 第92-93页 |
| ·产生激光的主脉冲电流阈值研究 | 第93-97页 |
| ·国际上各研究小组实验参数对比 | 第94页 |
| ·阈值电流的探索实验 | 第94-95页 |
| ·探索阈值电流的意义 | 第95-97页 |
| ·毛细管放电46.9nm激光谱线的辨认 | 第97-101页 |
| ·谱线辨认方法 | 第97页 |
| ·测谱实验 | 第97-99页 |
| ·谱线辨认 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 第4章 毛细管放电极紫外光刻光源演示装置 | 第102-132页 |
| ·引言 | 第102-103页 |
| ·重要参数的计算 | 第103-111页 |
| ·中心波长的能级跃迁 | 第103-104页 |
| ·约束等离子体所需电流 | 第104-105页 |
| ·毛细管放电等离子体的箍缩时间 | 第105-106页 |
| ·毛细管的阻抗特性 | 第106-108页 |
| ·毛细管的击穿特性 | 第108-109页 |
| ·等离子体电离度计算 | 第109-111页 |
| ·装置设计和研制 | 第111-119页 |
| ·主要系统简介 | 第111-112页 |
| ·电源系统 | 第112-118页 |
| ·放电系统 | 第118-119页 |
| ·装置的安装和调试 | 第119-121页 |
| ·装置使用说明 | 第119-120页 |
| ·预脉冲电源调试 | 第120-121页 |
| ·主脉冲电源调试 | 第121页 |
| ·毛细管放电气体介质极紫外辐射光谱实验观察 | 第121-130页 |
| ·极紫外辐射收集室方案设计 | 第122页 |
| ·罗兰园谱仪标定 | 第122-127页 |
| ·极紫外辐射光谱实验观察 | 第127-130页 |
| ·本章小结 | 第130-132页 |
| 第5章 毛细管放电三束等离子体极紫外光源方案 | 第132-152页 |
| ·引言 | 第132页 |
| ·毛细管放电三束等离子体光源的概念设计 | 第132-135页 |
| ·极紫外光刻光源发展面临的难题 | 第132-133页 |
| ·概念设计方案 | 第133-135页 |
| ·毛细管放电三束等离子体环带光源的形成 | 第135-138页 |
| ·受力方式分析 | 第135-136页 |
| ·等离子体终态形状的差异 | 第136-137页 |
| ·三束等离子体环带光源的形成过程 | 第137-138页 |
| ·毛细管放电三束等离子体的定性计算 | 第138-144页 |
| ·洛仑兹力的作用 | 第138-143页 |
| ·热压力的作用 | 第143页 |
| ·等离子体辐射所需条件 | 第143-144页 |
| ·毛细管放电三束等离子体光源的发展前景 | 第144-150页 |
| ·较大的发光体积 | 第144-146页 |
| ·较大的最佳收集角 | 第146-147页 |
| ·可能的毛细管内部结构设计方案 | 第147-149页 |
| ·具有良好应用前景的可调谐光源 | 第149-150页 |
| ·本章小结 | 第150-152页 |
| 结论 | 第152-154页 |
| 参考文献 | 第154-172页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第172-174页 |
| 致谢 | 第174-175页 |
| 个人简历 | 第175页 |