| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·半导体光刻技术发展现状及趋势 | 第8-10页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·国际上半导体光刻技术发展现状及趋势 | 第8-9页 |
| ·国内半导体光刻技术的发展现状及趋势 | 第9-10页 |
| ·步进扫描式光刻机运动系统概述 | 第10-14页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·步进扫描光刻机整机结构及工作原理 | 第10-12页 |
| ·步进扫描光刻机运动系统的硬件结构 | 第12-14页 |
| ·课题来源及研究目的与意义 | 第14-16页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·研究目的与意义 | 第14-15页 |
| ·论文内容安排 | 第15-16页 |
| 第二章 隔振试验台整体结构设计及运动规划 | 第16-25页 |
| ·隔振试验平台运动系统的硬件结构设计 | 第16-19页 |
| ·光刻机光刻运动分析 | 第19-20页 |
| ·运动系统的相关技术参数 | 第20-21页 |
| ·速度、加速度曲线规划 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 隔振试验台运动控制系统总体设计及硬件选型 | 第25-37页 |
| ·控制系统总体方案设计 | 第25-26页 |
| ·控制系统硬件的选型及功能 | 第26-35页 |
| ·直线运动执行器的选型 | 第26-27页 |
| ·伺服电机的选型 | 第27-31页 |
| ·直线电机运动模块的选型 | 第31-34页 |
| ·运动控制器的选型 | 第34-35页 |
| ·运动控制器和电机驱动器的控制功能分配 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 控制系统的数学建模 | 第37-45页 |
| ·永磁同步电机的矢量控制原理 | 第37-40页 |
| ·永磁同步电机在转子坐标系中的数学模型 | 第40-42页 |
| ·直线式永磁同步电机的工作原理及数学模型 | 第42-43页 |
| ·滚珠丝杠滑台的数学模型 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 运动系统控制策略研究及仿真分析 | 第45-68页 |
| ·带速度、加速度前馈PID复合控制策略研究 | 第45-50页 |
| ·PID控制器的基本原理及实现 | 第46-48页 |
| ·复合控制系统中前馈环节的设计方法 | 第48-50页 |
| ·永磁同步电机伺服系统电流环PI控制器设计 | 第50-53页 |
| ·运动系统同步控制策略研究 | 第53-55页 |
| ·基于Matlab/Simulink的控制系统仿真研究 | 第55-67页 |
| ·Simulink仿真概述 | 第56-57页 |
| ·控制系统的simulink建模 | 第57-59页 |
| ·仿真模型中速度环和位置环PI/PID参数的寻优 | 第59-62页 |
| ·系统仿真及结果分析 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 实际系统的安装调试、检测及实验 | 第68-81页 |
| ·实验系统简介 | 第68-69页 |
| ·实验系统的安装及现场实景 | 第68-69页 |
| ·实验系统电源电路图的设计 | 第69页 |
| ·系统参数设置与在线调试 | 第69-74页 |
| ·系统相关指标检测 | 第74-77页 |
| ·单轴闭环定位精度的检测 | 第74-76页 |
| ·各轴加速度的检测 | 第76-77页 |
| ·同步运动控制对比实验 | 第77-78页 |
| ·运动程序编写及运行 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第七章 全文总结 | 第81-82页 |
| ·论文研究的内容与创新点 | 第81页 |
| ·不足之处 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 攻读硕士学位期间主要的研究成果 | 第86页 |