| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·a-C:H的结构和基本性质 | 第10-12页 |
| 参考文献 | 第12-14页 |
| 第二章 a-C:H材料的制备与表征方法 | 第14-28页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·目前采用PECVD制备a-C:H薄膜方法及其有缺点 | 第15-17页 |
| ·用MOPECVD方法制备Fe掺杂a-C:H薄膜 | 第17-18页 |
| ·论文涉及的表征方法 | 第18-26页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第18-19页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第19-20页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第20页 |
| ·傅立叶变换红外(FT-IR)光谱 | 第20-21页 |
| ·Raman光谱 | 第21-22页 |
| ·紫外-可见(UV-VIS)分光光度计 | 第22-24页 |
| ·热重(TG)分析 | 第24页 |
| ·荧光分光光度计(Fluorophotometer) | 第24-25页 |
| ·场发射(FE) | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26页 |
| 参考文献 | 第26-28页 |
| 第三章 Fe掺杂对a-C:H薄膜的组成和结构影响 | 第28-40页 |
| ·Fe掺杂a-C:H薄膜和a-C:H薄膜制备 | 第28-29页 |
| ·Fe掺杂a-C:H薄膜沉积速率的影响 | 第29-30页 |
| ·Fe掺杂对a-C:H薄膜的表面形貌的影响 | 第30-32页 |
| ·Fe掺杂对a-C:H薄膜的组成和结构的影响 | 第32-38页 |
| ·Fe掺杂a-C:H薄膜和a-C:H薄膜的XPS的对比 | 第32-34页 |
| ·Fe掺杂对a-C:H薄膜的FT-IR影响 | 第34-35页 |
| ·Fe掺杂对a-C:H薄膜的Raman的影响 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38页 |
| 参考文献 | 第38-40页 |
| 第四章 Fe掺杂对a-C:H薄膜热稳定性能和光电子学特性的影响 | 第40-52页 |
| ·Fe掺杂对a-C:H薄膜热稳定性能的影响 | 第40-43页 |
| ·Fe掺杂对a-C:H薄膜光学性质的影响 | 第43-47页 |
| ·Fe掺杂对a-C:H薄膜UV-VIS特性和光学带隙的影响 | 第43-44页 |
| ·Fe掺杂对a-C:H薄膜PL的影响 | 第44-47页 |
| ·Fe掺杂对超薄a-C:H薄膜电子场发射特性的影响 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 第五章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 在学期间发表的论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
