大角度离子注入机垂直扫描机构的设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 主要符号表 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| ·课题背景 | 第11-15页 |
| ·技术背景与垂直扫描机构驱动方式的选择 | 第15-18页 |
| ·直线电机＋静压气体轴承 | 第15-18页 |
| ·直线电机＋直线导轨 | 第18页 |
| ·伺服电机＋滚珠丝杠 | 第18页 |
| ·本文研究内容和方向 | 第18-20页 |
| 第2章 体轴承建模与计算方法介绍 | 第20-31页 |
| ·静压圆柱气体轴承工作原理 | 第20-22页 |
| ·基本微分方程式的简化 | 第22-25页 |
| ·气体轴承设计和分析方法 | 第25-27页 |
| ·CFD 基本方法与 FLUENT 软件简介 | 第27-31页 |
| ·CFD 基本方法 | 第27-28页 |
| ·FLUENT 软件简介 | 第28-31页 |
| 第3章 体轴承仿真分析 | 第31-55页 |
| ·气体轴承计算模型的建立 | 第31-34页 |
| ·结构简介 | 第31-32页 |
| ·气体轴承的数学模型 | 第32-34页 |
| ·气体轴承计算网格的生成 | 第34-41页 |
| ·气体轴承网格划分的方法 | 第34-35页 |
| ·气体轴承网格划分过程示例 | 第35-41页 |
| ·迭代计算过程设置 | 第41-44页 |
| ·基本迭代过程设置方法 | 第41-44页 |
| ·计算结果与参数影响分析 | 第44-55页 |
| ·流体物性与湍流模型的影响 | 第44-45页 |
| ·制造精度对气体轴承特性的影响 | 第45-47页 |
| ·直线电机的横向边端效应对气体轴承特性的影响 | 第47-49页 |
| ·往复运动速度对气体轴承特性的影响 | 第49-51页 |
| ·计算结果分析 | 第51-55页 |
| 第4章 垂直扫描机构差分密封的计算 | 第55-60页 |
| ·气体通道的计算 | 第56-57页 |
| ·第一级差分抽气室真空泵的选择 | 第57页 |
| ·第二级差分抽气室的计算 | 第57-58页 |
| ·流入靶室的气体流量的计算 | 第58-59页 |
| ·讨论 | 第59-60页 |
| 第5章 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录 A（攻读学位期间发表论文目录） | 第66页 |
