聚合物微流控芯片辅助激光加工的重铸物研究
摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-9页 |
1 绪论 | 第9-19页 |
·课题研究的背景 | 第9页 |
·CO_2激光在微流控芯片制作中的应用现状 | 第9-12页 |
·CO_2激光加工PMMA中的重铸物问题研究现状 | 第12-17页 |
·重铸物问题研究现状 | 第12-16页 |
·重铸物对芯片制作的影响 | 第16-17页 |
·论文的主要研究内容 | 第17-19页 |
2 CO_2激光作用下PMMA的变化机理分析 | 第19-27页 |
·CO_2激光加工的原理 | 第19-20页 |
·PMMA在CO_2激光作用下的变化机理 | 第20-26页 |
·PMMA对CO_2激光能量的吸收模型 | 第20-21页 |
·CO_2激光作用下的传热学问题 | 第21-24页 |
·PMMA的物理状态变化分析 | 第24-26页 |
·本章小结 | 第26-27页 |
3 材料运动与变形的仿真分析与实验验证 | 第27-40页 |
·材料运动与变形的仿真分析 | 第27-33页 |
·有限元模型建立 | 第28页 |
·载荷计算及仿真过程 | 第28-31页 |
·结果讨论 | 第31-33页 |
·材料运动与变形的拍摄实验验证 | 第33-39页 |
·实验方案及设备搭建 | 第34-36页 |
·拍摄结果分析 | 第36-37页 |
·其他实验现象验证 | 第37-39页 |
·本章小结 | 第39-40页 |
4 重铸物形成的关键影响因素分析与实验探索 | 第40-58页 |
·热量对重铸物形成的影响 | 第40-44页 |
·热量的作用机理 | 第40-41页 |
·重铸物高度与热量的理论关系 | 第41-42页 |
·重铸物高度与热量的实验关系 | 第42-44页 |
·材料取向对重铸物形成的影响 | 第44-47页 |
·材料取向现象 | 第44-45页 |
·材料取向对重铸物形成的影响 | 第45-46页 |
·材料取向影响的实验验证 | 第46-47页 |
·热影响区的公式表达 | 第47-52页 |
·重铸物问题的初步解决方案 | 第52-56页 |
·合理的工艺参数组合 | 第52-53页 |
·气体冷却 | 第53-56页 |
·本章小结 | 第56-58页 |
5 重铸物环切后处理工艺研究 | 第58-65页 |
·工艺原理及关键工艺参数 | 第58-60页 |
·工艺的可行性验证 | 第60-62页 |
·各种PMMA材料合理的p,d,n参数 | 第62-63页 |
·工艺的负面影响分析 | 第63-64页 |
·工艺对储液池的影响 | 第63-64页 |
·工艺复杂性 | 第64页 |
·本章小结 | 第64-65页 |
结论 | 第65-66页 |
展望 | 第66-67页 |
参考文献 | 第67-69页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
致谢 | 第70-71页 |