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聚合物微流控芯片辅助激光加工的重铸物研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
1 绪论第9-19页
   ·课题研究的背景第9页
   ·CO_2激光在微流控芯片制作中的应用现状第9-12页
   ·CO_2激光加工PMMA中的重铸物问题研究现状第12-17页
     ·重铸物问题研究现状第12-16页
     ·重铸物对芯片制作的影响第16-17页
   ·论文的主要研究内容第17-19页
2 CO_2激光作用下PMMA的变化机理分析第19-27页
   ·CO_2激光加工的原理第19-20页
   ·PMMA在CO_2激光作用下的变化机理第20-26页
     ·PMMA对CO_2激光能量的吸收模型第20-21页
     ·CO_2激光作用下的传热学问题第21-24页
     ·PMMA的物理状态变化分析第24-26页
   ·本章小结第26-27页
3 材料运动与变形的仿真分析与实验验证第27-40页
   ·材料运动与变形的仿真分析第27-33页
     ·有限元模型建立第28页
     ·载荷计算及仿真过程第28-31页
     ·结果讨论第31-33页
   ·材料运动与变形的拍摄实验验证第33-39页
     ·实验方案及设备搭建第34-36页
     ·拍摄结果分析第36-37页
     ·其他实验现象验证第37-39页
   ·本章小结第39-40页
4 重铸物形成的关键影响因素分析与实验探索第40-58页
   ·热量对重铸物形成的影响第40-44页
     ·热量的作用机理第40-41页
     ·重铸物高度与热量的理论关系第41-42页
     ·重铸物高度与热量的实验关系第42-44页
   ·材料取向对重铸物形成的影响第44-47页
     ·材料取向现象第44-45页
     ·材料取向对重铸物形成的影响第45-46页
     ·材料取向影响的实验验证第46-47页
   ·热影响区的公式表达第47-52页
   ·重铸物问题的初步解决方案第52-56页
     ·合理的工艺参数组合第52-53页
     ·气体冷却第53-56页
   ·本章小结第56-58页
5 重铸物环切后处理工艺研究第58-65页
   ·工艺原理及关键工艺参数第58-60页
   ·工艺的可行性验证第60-62页
   ·各种PMMA材料合理的p,d,n参数第62-63页
   ·工艺的负面影响分析第63-64页
     ·工艺对储液池的影响第63-64页
     ·工艺复杂性第64页
   ·本章小结第64-65页
结论第65-66页
展望第66-67页
参考文献第67-69页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第69-70页
致谢第70-71页

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