| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-8页 |
| 第一章 导论 | 第8-14页 |
| ·电容式角位移传感器 | 第8-9页 |
| ·全内反射差动测量法 | 第9-11页 |
| ·迈克尔逊干涉法 | 第11-12页 |
| ·法布里－珀罗（FP）板正弦相位调制测量法 | 第12-14页 |
| 第二章 双面金属包覆波导和超高阶导模 | 第14-28页 |
| ·介质平板波导理论 | 第14-19页 |
| ·双面金属包覆波导 | 第19-24页 |
| ·亚毫米尺度双面金属包覆波导中的超高阶导模 | 第24-28页 |
| 第三章 利用超高阶导模测量微小角位移 | 第28-34页 |
| ·测量原理 | 第28-31页 |
| ·灵敏度分析 | 第31-33页 |
| ·激光束指向抖动对测量结果的影响 | 第33-34页 |
| 第四章 极微小角位移测量实验 | 第34-48页 |
| ·实验设计 | 第34-36页 |
| ·悬片结构的制作 | 第36-40页 |
| ·测量结果与分析 | 第40-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表的科研成果 | 第53页 |