| 第一章 绪论 | 第1-20页 |
| ·三坐标测量机概况及其发展现状 | 第13-14页 |
| ·纳米三坐标测量机 | 第14-15页 |
| ·提高三坐标测量机精度的重要手段-误差修正技术 | 第15-17页 |
| ·三坐标测量机误差修正国内外研究概况 | 第17页 |
| ·课题来源及意义 | 第17-18页 |
| ·本论文主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 三坐标测量机误差源分析 | 第20-35页 |
| ·三坐标测量机误差源分析 | 第20-25页 |
| ·三坐标测量机机构误差 | 第20-23页 |
| ·三坐标测量机的动态误差 | 第23-25页 |
| ·Nano-CMM的结构分析 | 第25-32页 |
| ·拱形桥架结构 | 第27-28页 |
| ·共平面 X-Y二维工作平台 | 第28-29页 |
| ·自动聚焦探头系统 | 第29-32页 |
| ·线性衍射光栅干涉仪(LDGI)测量系统 | 第32页 |
| ·Nano-CMM的主要误差源 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 纳米三坐标测量机的精度设计 | 第35-42页 |
| ·拱形三坐标测量机的精度设计 | 第35-38页 |
| ·X轴精度设计 | 第35-36页 |
| ·Y轴精度设计 | 第36-37页 |
| ·Z轴精度设计 | 第37-38页 |
| ·四面对称形三坐标测量机精度设计 | 第38-41页 |
| ·X轴精度设计 | 第38-39页 |
| ·Y轴精度设计 | 第39-40页 |
| ·Z轴精度设计 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 数据拟合软件与误差修正预演实验 | 第42-53页 |
| ·三坐标测量机误差修正的主要类型 | 第42页 |
| ·三次样条插值理论 | 第42-44页 |
| ·误差修正数据拟合软件 | 第44-46页 |
| ·误差修正预演实验 | 第46-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 纳米三坐标测量机的误差修正 | 第53-65页 |
| ·三坐标测量机的误差修正项目 | 第53-54页 |
| ·光栅系统误差 | 第53页 |
| ·阿贝误差 | 第53-54页 |
| ·温度误差 | 第54页 |
| ·导轨线值误差 | 第54页 |
| ·三坐标测量机的误差分离实验 | 第54-58页 |
| ·光栅误差的分离 | 第54-56页 |
| ·阿贝误差的分离 | 第56页 |
| ·温度误差的分离 | 第56-57页 |
| ·直角棱镜角度误差对自准直仪和激光干涉仪测量结果的影响 | 第57-58页 |
| ·实验步骤及说明 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-65页 |
| 第六章 总结和展望 | 第65-67页 |
| ·研究总结 | 第65页 |
| ·今后研究工作展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69页 |