| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-13页 |
| ·课题的研究意义 | 第9-11页 |
| ·三维样品台的研究现状 | 第11页 |
| ·研究内容及组织形式 | 第11-13页 |
| 第2章 系统组成及原理 | 第13-19页 |
| ·系统组成 | 第13-14页 |
| ·系统实现原理 | 第14-18页 |
| ·三维定点技术 | 第15-17页 |
| ·系统实现方法 | 第17-18页 |
| ·样品台的技术指标 | 第18-19页 |
| 第3章 系统方案设计 | 第19-41页 |
| ·单片机的选择 | 第19-23页 |
| ·单片机简介 | 第19-20页 |
| ·STC89C52 系列单片机特性简介 | 第20-23页 |
| ·CPLD 的选择 | 第23-25页 |
| ·步进电机以及步进电机驱动器的选型 | 第25-41页 |
| ·步进电机 | 第25-35页 |
| ·步进电机驱动器 | 第35-41页 |
| 第4章 样品台的硬件电路设计 | 第41-48页 |
| ·总体设计 | 第41-42页 |
| ·相关模块设计 | 第42-48页 |
| 第5章 样品台的软件实现 | 第48-54页 |
| ·电机驱动程序的实现 | 第48-50页 |
| ·计算机控制端程序设计 | 第50-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 攻读学位期间取得的成果 | 第59页 |