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纳米金刚石涂层场发射阴极工艺改进及理论研究

第一章 绪论第1-16页
   ·FED显示特点及其优势第8页
   ·场发射器件的发展历程及现状第8-9页
   ·场发射器件的技术状况第9-13页
     ·场发射阴极的分类第9-11页
     ·实用的场发射器件结构第11-13页
   ·论文选题及研究内容第13-16页
     ·目前FED存在的问题及研究方向第13页
     ·金刚石场发射阴极材料的研究现状第13-14页
     ·本文主要的研究内容第14-16页
第二章 场致电子发射理论第16-26页
   ·F-N电子场发射理论简介第16-18页
     ·F-N场发射电流公式第16-18页
     ·F-N曲线及其物理意义第18页
   ·金刚石场发射的现有理论第18-21页
   ·钦基纳米金刚石场涂层场发射模型分析第21-26页
     ·模型描述第21-23页
     ·模型分析第23-26页
第三章 场发射阴极制备工艺研究第26-36页
   ·超声分散液配方的改进第26-28页
   ·纳米金刚石粉均匀涂覆工艺的改进第28-29页
   ·真空退火系统中热丝结构的改进第29-31页
   ·氢等离子体处理工艺的改进第31-33页
   ·场发射性能测试系统及分析设备第33-36页
第四章 TiC界面层对场发射性能的影响研究第36-48页
   ·金刚石和金属钛热粘接的可行性研究第36-41页
     ·钛、碳化钛与金刚石接触的能级分析第36-38页
     ·金属钛与金刚石的欧姆接触第38页
     ·金属钛与金刚石粉的热分析第38-39页
     ·热粘接的初步尝试第39-41页
   ·热处理温度对热粘接程度及场发射性能的影响第41-46页
     ·热处理温度对热粘接程度的影响第41-44页
     ·不同热处理温度下样品的场发射性能比较第44-45页
     ·测试结果分析第45-46页
   ·小结第46-48页
第五章 金刚石涂层中电子输运机理的研究第48-58页
   ·电场下的载流子输运第48-51页
     ·强场对载流子输运的影响第48-50页
     ·纳米颗粒的输运机理第50-51页
   ·影响纳米金刚石薄膜内部电子输运的主要因素第51-52页
   ·金刚石涂层厚度对电子输运的影响研究第52-54页
   ·样品制备的可重复性分析第54-55页
   ·金刚石涂层中TiC形成的电子输运通道研究第55-57页
   ·小结第57-58页
第六章 氢等离子体处理工艺研究及发光均匀性分析第58-76页
   ·氢等离子体处理的理论依据第58-63页
     ·射频等离子体技术第58-59页
     ·氢与金刚石的相互作用机理第59-63页
   ·氢等离子体处理实验结果及分析第63-71页
     ·实验结果第63-66页
     ·实验机理分析第66-71页
   ·发光均匀性分析第71-74页
   ·小结第74-76页
总结第76-78页
参考文献第78-81页
在读期间发表的论文第81-82页
致谢第82页

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