| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 引言 | 第8-20页 |
| ·研究的范围和目的 | 第8页 |
| ·国内外研究进展 | 第8-18页 |
| ·主要内容 | 第18-20页 |
| 2 四探针电阻率测量原理 | 第20-41页 |
| ·四探针基本原理 | 第20-33页 |
| ·双电测组合法测量原理 | 第33-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 薄膜电阻率自动化测量系统 | 第41-59页 |
| ·系统设计 | 第41-47页 |
| ·硬件系统 | 第47-51页 |
| ·软件系统 | 第51-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 4 测量结果分析 | 第59-71页 |
| ·测量仪器误差分析理论 | 第59-66页 |
| ·测量结果分析 | 第66-69页 |
| ·误差来源 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 5 结论与展望 | 第71-73页 |
| ·结论 | 第71页 |
| ·展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第79-80页 |
| 附录2 数学推导及修正参数 | 第80-84页 |
| A 双电测组合法电阻率拟合公式数学推导 | 第80-81页 |
| B 双电测组合法修正尺寸 | 第81-84页 |
| C 格拉布斯系数G 表 | 第84页 |