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基于虚拟仪器的自动化薄膜电阻率测量系统研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
1 引言第8-20页
   ·研究的范围和目的第8页
   ·国内外研究进展第8-18页
   ·主要内容第18-20页
2 四探针电阻率测量原理第20-41页
   ·四探针基本原理第20-33页
   ·双电测组合法测量原理第33-40页
   ·本章小结第40-41页
3 薄膜电阻率自动化测量系统第41-59页
   ·系统设计第41-47页
   ·硬件系统第47-51页
   ·软件系统第51-58页
   ·本章小结第58-59页
4 测量结果分析第59-71页
   ·测量仪器误差分析理论第59-66页
   ·测量结果分析第66-69页
   ·误差来源第69-70页
   ·本章小结第70-71页
5 结论与展望第71-73页
   ·结论第71页
   ·展望第71-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-79页
附录1 攻读学位期间发表论文目录第79-80页
附录2 数学推导及修正参数第80-84页
 A 双电测组合法电阻率拟合公式数学推导第80-81页
 B 双电测组合法修正尺寸第81-84页
 C 格拉布斯系数G 表第84页

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