| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 前言 | 第7-10页 |
| ·类金刚石膜的研究背景及意义 | 第7页 |
| ·类金刚石膜的结构 | 第7-8页 |
| ·类金刚石膜的性能与应用 | 第8-10页 |
| ·类金刚石膜的性能 | 第8-9页 |
| ·类金刚石膜的应用 | 第9-10页 |
| ·合成类金刚石膜的实验研究 | 第10页 |
| ·本文的主要研究目的 | 第10页 |
| 2 计算机模拟方法和原子间相互作用势 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·分子动力学 (MD) 模拟 | 第12-17页 |
| ·计算程序介绍 | 第17-18页 |
| ·原子间作用势 | 第18-21页 |
| 3 斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟 | 第21-34页 |
| ·引言 | 第21-22页 |
| ·计算模型 | 第22-24页 |
| ·计算结果与讨论 | 第24-34页 |
| ·入射角对原子在表面行为及薄膜结构的影响 | 第24-26页 |
| ·入射角对滞留在薄膜中的Ar原子数的影响 | 第26-27页 |
| ·入射角对薄膜形状的影响 | 第27-31页 |
| ·入射角随着到达比的变化对薄膜结构的影响 | 第31-32页 |
| ·入射角随着入射能的变化对薄膜结构的影响 | 第32-34页 |
| 4 结论 | 第34-36页 |
| 参考文献 | 第36-40页 |
| 致谢 | 第40-41页 |
| 作者简介 | 第41-42页 |