| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题研究的背景 | 第10-11页 |
| ·UV-LIGA技术在微型腔制作中的研究现状 | 第11-13页 |
| ·微注塑模具型腔制作的研究现状 | 第13-16页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 基于SU-8胶的UV-LIGA工艺研究 | 第17-21页 |
| ·SU-8胶光刻工艺技术 | 第17-19页 |
| ·SU-8胶的光刻机理 | 第17页 |
| ·SU-8胶光刻工艺实验研究 | 第17-18页 |
| ·SU-8胶的热溶胀原理 | 第18-19页 |
| ·微电铸镍工艺研究 | 第19-20页 |
| ·微电铸镍工艺基础 | 第19页 |
| ·电铸液的溶液成分 | 第19-20页 |
| ·微电铸的工艺参数 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 细胞培养器微注塑模具型腔的设计及实验方案 | 第21-28页 |
| ·细胞培养器的工作原理及结构设计 | 第21-23页 |
| ·细胞培养器的工作原理 | 第21-22页 |
| ·本实验中研究制作的细胞培养器 | 第22-23页 |
| ·制作细胞培养器微注塑模具型腔的结构设计及实验方案 | 第23-27页 |
| ·微注塑模具型腔的结构设计 | 第23-24页 |
| ·实验方案及工艺路线 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 4 细胞培养器微注塑模具型腔的制作工艺过程 | 第28-45页 |
| ·掩膜版的制作和基板的选取与前处理 | 第28-30页 |
| ·第一层微正方形阵列结构的制作 | 第30-38页 |
| ·微正方形阵列SU-8胶模的制作 | 第30-34页 |
| ·微正方形阵列结构的微电铸 | 第34-38页 |
| ·第二层微圆柱阵列和微注塑浇口的制作 | 第38-42页 |
| ·第二层SU-8胶模的制作 | 第38-40页 |
| ·微圆柱阵列结构的微电铸 | 第40-42页 |
| ·掩膜腐蚀微排气通道 | 第42-43页 |
| ·SU-8胶的去除 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 SU-8胶热溶胀性研究和微铸层的精度控制 | 第45-54页 |
| ·增设隔离带方案的提出及方案设计 | 第45-46页 |
| ·实验前后对比 | 第46-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |