低气压感应耦合放电器件研究及模型建立

摘要	第1-7页
Abstract	第7-9页
第一章 序论	第9-17页
·研究背景	第9-10页
·本论文主要工作	第10-11页
·各章节内容介绍	第10页
·各章节所得结果、结论	第10-11页
·本论文研究创新性	第11-13页
·实验装置器件创新性	第11-12页
·模型化计算创新性	第12-13页
参考文献	第13-17页
第二章 低气压感应耦合放电实验平台建立	第17-24页
引言	第17页
·实验构架与实验装置	第17-19页
·感应耦合放电原理	第19-21页
参考文献	第21-24页
第三章 低气压感应耦合H型放电研究及模型建立	第24-57页
引言	第24-25页
·感应耦合H型放电电磁轮廓模型建立及计算	第25-38页
·电磁轮廓模型描述	第27-28页
·有限差分法计算电磁轮廓分布	第28-32页
·电磁轮廓及相应参量计算结果	第32-34页
·对电磁轮廓模型的验证及误差讨论	第34-38页
·感应耦合H型放电阻抗模型建立及计算	第38-48页
·感应耦合放电变压器模型描述	第38-39页
·理想变压器转换原理	第39-41页
·等效电路法计算H型放电阻抗及耦合系数	第41-43页
·矢量图法计算H型放电阻抗及耦合系数	第43-45页
·阻抗计算结果	第45-48页
·感应耦合H型放电两模型计算结果匹配	第48-50页
·感应耦合H型放电等离子体参量推导	第50-54页
参考文献	第54-57页
第四章 低气压感应耦合E-H型过渡放电研究	第57-71页
引言	第57页
·E型和H型放电模式转换基本现象	第57-58页
·E型和H型两种放电情况下电参量比较	第58-62页
·E型和H型模式发射光谱学诊断	第62-68页
参考文献	第68-71页
第五章 全文总结	第71-74页
发表论文	第74-75页
致谢	第75-76页