| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| ·研究背景与意义 | 第11-12页 |
| ·薄膜(涂层)力学性能研究概论 | 第12-21页 |
| ·薄膜概述 | 第12-13页 |
| ·膜层力学性能国内外研究现状 | 第13-21页 |
| ·存在的不足和有待深入研究的问题 | 第21-22页 |
| ·本研究课题的来源及主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 复合硬度模型研究陶瓷薄膜的本征硬度 | 第24-39页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·J(o|¨)nsson and Hogmark (J-H) 模型 | 第24-26页 |
| ·Lesage and Chicot (L-C) 模型 | 第26-29页 |
| ·新模型 | 第29-31页 |
| ·实验 | 第31-32页 |
| ·结果与讨论 | 第32-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 位移敏感压痕技术评价SiC 硬质膜的力学性能 | 第39-49页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·Oliver-Pharr 模型及计算方法 | 第39-42页 |
| ·实验 | 第42-43页 |
| ·样品准备 | 第42-43页 |
| ·样品测试 | 第43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-48页 |
| ·硬度与弹性模量研究 | 第43-45页 |
| ·形貌及断裂韧性研究 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 压痕法和十字交叉法评价类金刚石膜的界面结合强度 | 第49-60页 |
| ·引言 | 第49-50页 |
| ·实验 | 第50-52页 |
| ·压痕法测试 | 第50页 |
| ·十字交叉法测试 | 第50-52页 |
| ·结果与讨论 | 第52-58页 |
| ·DLC 涂层断面形貌 | 第52-53页 |
| ·压痕法实验结果及形貌 | 第53-54页 |
| ·十字交叉法试验结果和界面形貌 | 第54-58页 |
| ·十字交叉法的局限性 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 冲击法研究陶瓷膜层材料的抗冲击性能 | 第60-86页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·实验 | 第60-62页 |
| ·结果与讨论 | 第62-84页 |
| ·膜层断面及表面形貌研究 | 第62-64页 |
| ·90°冲击 | 第64-68页 |
| ·60°冲击 | 第68-73页 |
| ·45°冲击 | 第73-79页 |
| ·30°冲击 | 第79-84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第六章 划痕法研究涂层的结合力和抗划伤性及陶瓷涂层的抗热震性研究 | 第86-107页 |
| ·涂层结合力和抗划伤能力研究 | 第86-100页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·划痕法原理 | 第86-87页 |
| ·划痕实验 | 第87-89页 |
| ·结果与讨论 | 第89-100页 |
| ·不同最大法向载荷和载荷速率下的划痕损伤研究 | 第89-91页 |
| ·相同条件下不同膜层抗划伤性研究 | 第91-94页 |
| ·钛基体及Ti0_2 膜层抗划伤性研究 | 第94-100页 |
| ·抗热震性研究 | 第100-105页 |
| ·引言 | 第100页 |
| ·实验 | 第100-102页 |
| ·结果与讨论 | 第102-105页 |
| ·本章小结 | 第105-107页 |
| 结论 | 第107-110页 |
| 参考文献 | 第110-118页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第118-119页 |
| 攻读硕士学位期间申请的专利及参与项目经历 | 第119-120页 |
| 致谢 | 第120页 |