| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·研究背景 | 第9-11页 |
| ·本课题组的主要研究内容 | 第11-12页 |
| ·本文的研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 实验方法 | 第13-20页 |
| ·双频电容耦合等离子体（DF-CCP）实验系统 | 第13-14页 |
| ·实验参数 | 第14-15页 |
| ·放电等离子体的发射光谱分析 | 第15-20页 |
| ·发射光谱诊断简介 | 第15页 |
| ·发射光谱诊断原理 | 第15-16页 |
| ·发射光谱诊断仪器 | 第16-18页 |
| ·等离子体中基团相对密度和电子激发温度的发射光谱测量 | 第18-20页 |
| 第三章 C_2F_6、C_4F_8的双频容性耦合放电等离子体特性 | 第20-31页 |
| ·C_2F_6、C_4F_8 双频放电等离子体发射光谱与碳氟基团的产生途径 | 第20-22页 |
| ·低频功率对C_2F_6 及C_4F_8 DF-CCP 等离子体特性的影响 | 第22-23页 |
| ·高频功率对C_2F_6 及C_4F_8 DF-CCP 等离子体特性的影响 | 第23-25页 |
| ·放电气压对C_2F_6 及C_4F_8 DF-CCP 等离子体特性的影响 | 第25-26页 |
| ·电子激发温度随高频功率、低频功率及放电气压的变化关系 | 第26-31页 |
| 第四章 C_2F_6、C_4F_8与CHF3双频CCP 放电特性比较 | 第31-36页 |
| 第五章 结论 | 第36-38页 |
| ·本文的主要结果 | 第36页 |
| ·存在的问题和进一步的研究方向 | 第36-38页 |
| 参考文献 | 第38-40页 |
| 攻读学位期间公开发表论文 | 第40-41页 |
| 致谢 | 第41-42页 |
