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基于PSD的接触式三维扫描测头研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
1 绪论第8-14页
    1.1 研究背景及意义第8-9页
    1.2 国内外研究现状第9-12页
    1.3 论文主要研究内容第12-14页
2 三维扫描测头的原理与数学建模第14-20页
    2.1 三维扫描测头组成与原理第14页
    2.2 三维扫描测头数学模型的建立第14-19页
        2.2.1 测头X方向变化数学模型第15-17页
        2.2.2 测头Y方向变化数学模型第17-18页
        2.2.3 测头Z方向变化数学模型第18-19页
    2.3 本章小结第19-20页
3 三维扫描测头结构设计第20-30页
    3.1 总体结构方案第20页
    3.2 光源选择第20-22页
    3.3 位置传感器PSD第22-29页
        3.3.1 PSD工作原理第22-25页
        3.3.2 PSD影响因素第25-29页
    3.4 本章小结第29-30页
4 数据采集系统设计第30-42页
    4.1 数据采集系统方案第30页
    4.2 PSD信号调理电路设计第30-35页
        4.2.1 I/V转换第30-33页
        4.2.2 放大电路设计第33-34页
        4.2.3 数据采集第34页
        4.2.4 背景光和暗电流的消除第34-35页
    4.3 系统软件程序设计第35-40页
        4.3.1 虚拟仪器概述第35-36页
        4.3.2 系统软件程序设计第36-40页
    4.4 本章小结第40-42页
5 实验与误差分析第42-56页
    5.1 PSD 传感器标定实验第42-43页
    5.2 系统参数标定算法分析第43-46页
    5.3 系统参数标定第46-53页
    5.4 实验与误差分析第53-55页
    5.5 本章小结第55-56页
6 总结和展望第56-58页
    6.1 总结第56页
    6.2 展望第56-58页
致谢第58-60页
参考文献第60-62页

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