| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-27页 |
| ·太阳电池简介 | 第16-19页 |
| ·太阳电池的研究意义 | 第16-17页 |
| ·太阳电池发展历史和现状 | 第17-18页 |
| ·薄膜太阳电池简介 | 第18-19页 |
| ·透明导电氧化物ZnO:Al 的介绍 | 第19-23页 |
| ·透明导电氧化物概述 | 第19-20页 |
| ·ZnO 和AZO 的性质 | 第20-22页 |
| ·AZO 研究历史和现状 | 第22-23页 |
| ·β-FeSi_2 薄膜介绍 | 第23-25页 |
| ·β-FeSi_2 薄膜的性能和应用 | 第23-24页 |
| ·β-FeSi_2 薄膜的研究历史和现状 | 第24-25页 |
| ·本论文的研究目的和研究计划 | 第25-27页 |
| ·研究目的 | 第25-26页 |
| ·研究内容和实验方案 | 第26-27页 |
| 第二章 实验方法 | 第27-36页 |
| ·溅射镀膜 | 第27-29页 |
| ·衬底的清洗 | 第29-30页 |
| ·磁控溅射生长AZO 薄膜 | 第30页 |
| ·磁控溅射和离子束溅射生长β-FeSi_2 薄膜 | 第30-31页 |
| ·薄膜的测试与表征方法 | 第31-36页 |
| ·X 射线衍射方法测量薄膜晶体结构 | 第31-32页 |
| ·AFM 和SEM 方法 | 第32页 |
| ·霍尔效应 | 第32-34页 |
| ·透射和反射谱 | 第34-36页 |
| 第三章 玻璃衬底上AZO 透明导电薄膜的制备和性能研究 | 第36-65页 |
| ·前言 | 第36页 |
| ·磁控溅射工艺参数对AZO 薄膜性能的影响 | 第36-55页 |
| ·衬底温度对AZO 薄膜性能的影响 | 第36-42页 |
| ·溅射功率对AZO 薄膜性能的影响 | 第42-46页 |
| ·溅射气压对AZO 薄膜性能的影响 | 第46-48页 |
| ·气体流量对AZO 薄膜性能的影响 | 第48-54页 |
| ·透明导电AZO 薄膜优化参数的确定 | 第54-55页 |
| ·A1203 过渡层对AZO 薄膜性能的影响 | 第55-59页 |
| ·过渡层对AZO 薄膜结构性能的影响 | 第55-56页 |
| ·过渡层对AZO 表面形貌的影响 | 第56-57页 |
| ·过渡层对AZO 薄膜电学性能的影响 | 第57-58页 |
| ·过渡层对AZO 薄膜光学性能的影响 | 第58-59页 |
| ·AZO 在热丝法制备的薄膜电池中的应用 | 第59-63页 |
| ·AZO 在热丝CVD 中的稳定性 | 第59-60页 |
| ·Ar 气流量对AZO 绒面结构的影响 | 第60-63页 |
| ·AZO 制绒对电池开路电压和短路电流的影响 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第四章 柔性衬底上低温沉积AZO 基透明导电薄膜及其性能研究 | 第65-75页 |
| ·前言 | 第65页 |
| ·柔性PEN 和PET 上低温制备AZO 透明导电薄膜 | 第65-74页 |
| ·PEN 和PET 的介绍 | 第65-66页 |
| ·靶材溅蚀坑的深度对柔性衬底上AZO 薄膜性能的影响 | 第66-71页 |
| ·柔性衬底和玻璃衬底上 AZO 薄膜性能的比较 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 本征β-FeSi_2薄膜的制备和性能研究 | 第75-88页 |
| ·前言 | 第75页 |
| ·磁控溅射制备本征β-FeSi_2 薄膜 | 第75-83页 |
| ·Si(100)衬底上本征β-FeSi_2 薄膜的制备和表征 | 第75-78页 |
| ·Si(111)衬底上本征β-FeSi_2 薄膜的制备和表征 | 第78-80页 |
| ·石英衬底上本征β-FeSi_2 薄膜的制备和表征 | 第80-83页 |
| ·离子束溅射制备β-FeSi_2 薄膜的研究 | 第83-87页 |
| ·Si(111)衬底上薄膜的结构分析 | 第83-84页 |
| ·石英衬底上薄膜的结构分析 | 第84-85页 |
| ·表面形貌分析 | 第85页 |
| ·光学带隙的测定和分析 | 第85-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 第六章 B 掺杂β-FeSi_2薄膜的制备和性能研究 | 第88-99页 |
| ·前言 | 第88页 |
| ·第一性原理计算β-FeSi_2 物性 | 第88-94页 |
| ·理论模型和计算方法 | 第88-89页 |
| ·本征β-FeSi_2 的性质 | 第89-90页 |
| ·B 掺杂β-FeSi_2 的性质 | 第90-94页 |
| ·B 掺杂β-FeSi_2 薄膜的制备和性能研究 | 第94-95页 |
| ·AZO 上生长B 掺杂β-FeSi_2 薄膜 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-99页 |
| 第七章 结论和展望 | 第99-102页 |
| ·结论 | 第99-100页 |
| ·主要创新点 | 第100-101页 |
| ·展望 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第113-115页 |
