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Wolter-I型反射镜的加工及表面粗糙度检测

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-12页
第1章 绪论第12-28页
   ·国内外掠入射X 射线望远镜的发展第12-18页
     ·常见的掠入射X 射线望远镜设计第13-15页
     ·国外掠入射X 射线望远镜的发展第15-18页
     ·国内掠入射X 射线望远镜的发展第18页
   ·非球面加工技术的最新进展第18-23页
     ·离子束抛光技术第19页
     ·磁流变抛光技术第19-20页
     ·等离子体抛光技术第20-21页
     ·气囊式进动抛光法第21-23页
   ·常见的光学表面散射理论第23-26页
     ·标量散射理论第24页
     ·矢量散射理论第24-25页
     ·Harvey-Shack 线性系统理论第25-26页
   ·课题的来源及主要研究内容第26-28页
第2章 掠入射反射镜数控加工系统第28-42页
   ·概述第28页
   ·WOLTER-I 型反射镜数控加工系统第28-37页
     ·Wolter-I 型反射镜数控加工系统介绍第28-30页
     ·Wolter-I 型反射镜数控加工机床的功能第30-33页
     ·Wolter-I 型内非球面反射镜机床的控制系统第33-34页
     ·Wolter-I 型反射镜数控加工系统导轨误差标定第34-37页
   ·计算机控制光学表面成形技术(COMPUTER CONTROL OPTICAL SURFACING ,CCOS)的基本原理第37-40页
     ·CCOS 的理论基础第37-38页
     ·CCOS 的工作原理第38页
     ·CCOS 的数学模型第38-40页
   ·本章小结第40-42页
第3章 弹性球状小磨头去除函数的建模与加工工艺参数的研究第42-68页
   ·加工平面或低陡度光学表面时磨头去除函数的建模第42-46页
     ·行星运动模式下磨头的去除函数第42-44页
     ·平转动模式下磨头的去除函数第44-46页
   ·加工WOLTERⅠ型反射镜时磨头去除函数的建模第46-58页
     ·掠入射望远镜的设计第46-48页
     ·研抛小磨头的设计第48-49页
     ·弹性球状小磨头加工WolterⅠ型反射镜的去除函数的建模及验证第49-58页
   ·加工WOLTERⅠ型反射镜时磨头去除函数的实验验证第58-66页
     ·磨头旋转,工件保持静止第58-62页
     ·磨头和工件都做旋转运动第62-65页
     ·磨头-工件压力分布的修正第65-66页
   ·本章小结第66-68页
第4章 WOLTER-Ι型掠入射反射镜的加工第68-84页
   ·微晶玻璃(ZERODUR)第68页
   ·驻留算法的研究第68-71页
   ·WOLTER-Ι型反射镜的加工第71-82页
     ·加工中表面质量的控制第72-76页
     ·Wolter-I 型反射镜的研磨第76-78页
     ·Wolter-I 型反射镜的抛光第78-79页
     ·Wolter-I 型反射镜的加工结果第79-82页
   ·本章小结第82-84页
第5章 掠入射X 射线散射法测量超光滑表面第84-100页
   ·散射法测量表面粗糙度的发展第84页
   ·散射法测量表面粗糙度的理论基础第84-87页
   ·实验装置及样品准备第87-89页
   ·实验结果及数据分析第89-93页
   ·GXRS 法的误差分析第93-98页
     ·接收狭缝对测量结果的影响第94-96页
     ·入射光速的发散度对测量结果的影响第96-98页
   ·本章小结第98-100页
第6章 结论与展望第100-103页
参考文献第103-110页
在学期间学术成果情况第110-111页
指导教师及作者简介第111-112页
致谢第112页

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