| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 卷曲微纳米马达 | 第9-12页 |
| 1.2.1 微纳米马达卷曲技术的原理 | 第9-11页 |
| 1.2.2 微纳米马达卷曲技术的应用 | 第11-12页 |
| 1.3 管状微纳米马达的驱动方式 | 第12-15页 |
| 1.3.1 磁场驱动方式 | 第12-14页 |
| 1.3.2 温度梯度驱控 | 第14页 |
| 1.3.3 光驱控 | 第14页 |
| 1.3.4 气泡驱控 | 第14-15页 |
| 1.3.5 微芯片和物理边界驱控 | 第15页 |
| 1.3.6 超声驱控 | 第15页 |
| 1.4 微纳尺寸多级结构的构筑 | 第15-17页 |
| 1.4.1 微纳尺度多级结构构筑的意义 | 第15-16页 |
| 1.4.2 微纳尺度多级结构构筑的方法 | 第16-17页 |
| 1.5 实验仪器 | 第17-20页 |
| 1.5.1 阳极氧化装置 | 第17-18页 |
| 1.5.2 液压装置 | 第18页 |
| 1.5.3 电子束蒸发镀膜系统 | 第18-19页 |
| 1.5.4 表征仪器 | 第19-20页 |
| 1.6 课题研究目的及研究方法简介 | 第20-22页 |
| 第二章 纳米压印技术及有序形貌衬底的制备 | 第22-29页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 AAO纳米压印模板的制备 | 第22-24页 |
| 2.3 有序形貌铝衬底的制备及调控 | 第24-28页 |
| 2.3.1 引言 | 第24-26页 |
| 2.3.2 有序铝岛结构的压印及调控 | 第26-27页 |
| 2.3.3 有序铝碗结构的压印及调控 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 多级结构微纳米马达的制备 | 第29-32页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 多级结构微纳米马达的制备方法 | 第29-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 多级结构微纳米马达表面形貌的调控 | 第32-36页 |
| 4.1 引言 | 第32页 |
| 4.2 利用阳极氧化电压调控多级结构微纳米马达的表面形貌 | 第32-34页 |
| 4.3 利用机械压印压强调控多级结构微纳米马达表面形貌 | 第34-35页 |
| 4.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第五章 多级结构微纳米马达尺寸的调控 | 第36-39页 |
| 5.1 引言 | 第36-37页 |
| 5.2 多级结构微纳米马达直径调控 | 第37-38页 |
| 5.3 多级结构微纳米马达长度调控 | 第38页 |
| 5.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第六章 总结与展望 | 第39-41页 |
| 6.1 本文总结 | 第39页 |
| 6.2 延伸展望 | 第39-41页 |
| 参考文献 | 第41-48页 |
| 缩写与简称 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 作者简介 | 第50页 |