| 致谢 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 引言 | 第10-26页 |
| 1.1 钙钛矿太阳能电池的简介 | 第11-16页 |
| 1.1.1 钙钛矿材料及其特性 | 第11-12页 |
| 1.1.2 钙钛矿太阳能电池的结构与原理 | 第12-14页 |
| 1.1.3 钙钛矿太阳能电池的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.1.4 钙钛矿太阳能电池的发展方向和存在问题 | 第15-16页 |
| 1.2 钙钛矿太阳能电池的材料与器件制备 | 第16-19页 |
| 1.2.1 钙钛矿活性层 | 第16-18页 |
| 1.2.2 电子传输层 | 第18页 |
| 1.2.3 空穴传输层 | 第18-19页 |
| 1.2.4 电极材料 | 第19页 |
| 1.3 真空闪蒸法的基本原理及应用 | 第19-21页 |
| 1.3.1 真空闪蒸法的原理 | 第19-20页 |
| 1.3.2 真空闪蒸法的影响因素 | 第20页 |
| 1.3.3 真空闪蒸法在钙钛矿太阳能电池方向的应用 | 第20-21页 |
| 1.4 等离子体技术 | 第21-24页 |
| 1.4.1 等离子体技术基本特性和应用 | 第21-22页 |
| 1.4.2 等离子体的产生和常见的放电设备 | 第22页 |
| 1.4.3 等离子体放电区域划分和放电常规诊断 | 第22-23页 |
| 1.4.4 等离子体处理钙钛矿电池应用现状和存在的问题 | 第23-24页 |
| 1.5 论文研究的目的、意义以及主要内容 | 第24-26页 |
| 1.5.1 论文研究的目的及意义 | 第24-25页 |
| 1.5.2 论文研究的主要内容 | 第25-26页 |
| 2 实验设备、材料及测试方法 | 第26-32页 |
| 2.1 实验设备 | 第26-27页 |
| 2.1.1 钙钛矿太阳能电池制备设备 | 第26-27页 |
| 2.1.2 等离子体处理和真空闪蒸处理设备 | 第27页 |
| 2.2 实验材料 | 第27-28页 |
| 2.2.1 钙钛矿电池材料 | 第27-28页 |
| 2.3 薄膜结构表征、性能测试设备和方法 | 第28-32页 |
| 2.3.1 厚度测试 | 第28-29页 |
| 2.3.2 成分测试 | 第29页 |
| 2.3.3 晶体结构测试 | 第29页 |
| 2.3.4 表面形貌测试 | 第29-30页 |
| 2.3.5 表面亲疏水测量 | 第30页 |
| 2.3.6 紫外可见光谱测试 | 第30页 |
| 2.3.7 J-V曲线测试 | 第30-32页 |
| 3 真空闪蒸法制备钙钛矿太阳能电池的研究 | 第32-55页 |
| 3.1 实验部分 | 第32-34页 |
| 3.1.1 钙钛矿太阳能电池器件结构 | 第32页 |
| 3.1.2 钙钛矿太阳能电池器件制备工艺流程 | 第32-34页 |
| 3.2 电子传输层对钙钛矿太阳能电池的影响 | 第34-42页 |
| 3.2.1 原子层沉积制备电子传输层 | 第34-38页 |
| 3.2.2 溶胶-凝胶法制备的致密二氧化钛电子传输层 | 第38-42页 |
| 3.3 真空闪蒸法制备吸光层对钙钛矿太阳能电池的影响 | 第42-51页 |
| 3.3.1 腔室真空度的影响 | 第42-44页 |
| 3.3.2 抽气速度的影响 | 第44-47页 |
| 3.3.3 真空闪蒸时间的影响 | 第47-49页 |
| 3.3.4 真空闪蒸后退火的影响 | 第49-51页 |
| 3.4 空穴传输层的影响 | 第51-52页 |
| 3.5 真空闪蒸法制备钙钛矿太阳能电池重复性 | 第52-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 4 等离子体处理对钙钛矿太阳能电池性能影响的研究 | 第55-63页 |
| 4.1 氩等离子体处理钙钛矿太阳能器件 | 第55-57页 |
| 4.1.1 氩等离子体处理工艺参数和方法 | 第55页 |
| 4.1.2 氩等离子体处理对电池性能的影响 | 第55-57页 |
| 4.2 氧等离子体处理钙钛矿太阳能器件 | 第57-59页 |
| 4.3 水等离子体处理钙钛矿太阳能器件 | 第59-60页 |
| 4.3.1 水等离子体处理对电池性能的影响 | 第59-60页 |
| 4.4 混合气体等离子体处理 | 第60-62页 |
| 4.4.1 混合气体处理工艺参数和方法 | 第60页 |
| 4.4.2 混合气体等离子体处理对电池性能的影响 | 第60-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 5 等离子体处理钙钛矿太阳能电池的机理分析 | 第63-77页 |
| 5.1 发射光谱(OES)测量 | 第63-66页 |
| 5.1.1 氩等离子体OES | 第63页 |
| 5.1.2 氧等离子体OES | 第63-64页 |
| 5.1.3 水等离子体OES | 第64-65页 |
| 5.1.4 混合等离子体OES的测量 | 第65-66页 |
| 5.2 不同等离子体处理对钙钛矿太阳能器件的性能影响 | 第66-73页 |
| 5.2.1 氧等离子体处理 | 第66-69页 |
| 5.2.2 水等离子体处理 | 第69-72页 |
| 5.2.3 薄膜光学性能 | 第72-73页 |
| 5.3 器件的稳定性 | 第73-75页 |
| 5.4 小结 | 第75-77页 |
| 6 结论 | 第77-79页 |
| 6.1 本文的主要研究成果与结论 | 第77页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第77-78页 |
| 6.3 研究展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 作者攻读学位期间取得的研究成果 | 第85-86页 |
