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大面积MoS2/WS2薄膜的改进CVD法制备及其摩擦性能研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-26页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 二维过渡金属硫化物第10-13页
        1.2.1 二维层状过渡金属硫化物简介第10-11页
        1.2.2 二维层状钼和钨二硫族化合物的晶体结构和能带结构第11-12页
        1.2.3 二硫化钼(钨)的电子结构第12-13页
    1.3 超薄二维纳米片的合成方法第13-21页
        1.3.1 自上而下的制备方法第14-18页
        1.3.2 自下而上的制备方法第18-21页
    1.4 二维过渡金属硫族化合物的应用第21-23页
        1.4.1 场效应晶体管第21-22页
        1.4.2 光电探测器第22页
        1.4.3 柔性电子器件第22-23页
    1.5 二维层状材料的纳米摩擦性能第23-25页
    1.6 本文选题依据及主要研究内容第25-26页
第2章 实验材料设备及表征技术第26-33页
    2.1 实验材料设备第26-27页
        2.1.1 实验材料第26页
        2.1.2 实验设备第26页
        2.1.3 CVD生长设备第26-27页
    2.2 表征技术第27-33页
        2.2.1 光学显微镜第27-28页
        2.2.2 扫描电子显微镜第28页
        2.2.3 拉曼光谱第28-30页
        2.2.4 原子力显微镜第30-32页
        2.2.5 光致发光光谱第32-33页
第3章 MoS_2的热力学计算及其CVD法制备第33-46页
    3.1 制备MoS_2过程的热力学计算第33-36页
    3.2 CVD制备MoS_2的实验流程第36-37页
    3.3 样品形貌表征第37-40页
    3.4 生长条件对制备二硫化钼的影响第40-45页
        3.4.1 反应温度对MoS_2制备的影响第41-42页
        3.4.2 反应时间对MoS_2制备的影响第42-43页
        3.4.3 反应源浓度对MoS_2制备的影响第43-45页
    3.5 本章小结第45-46页
第4章 卤盐助溶剂辅助CVD生长高质量WS_2第46-59页
    4.1 CVD制备WS_2的实验流程第46-47页
    4.2 生长条件对制备WS_2的影响第47-52页
        4.2.1 NaCl对制备三角形WS_2的影响第47-48页
        4.2.2 WO_3与NaCl混合比例对制备三角形WS_2的影响第48-49页
        4.2.3 生长温度对制备三角形WS_2的影响第49-50页
        4.2.4 生长时间对制备三角形WS_2的影响第50-51页
        4.2.5 基片离钨源距离对制备三角形WS_2的影响第51-52页
    4.3 WS2的表征第52-55页
        4.3.1 三角形WS_2纳米片的形貌表征第52-53页
        4.3.2 三角形WS_2纳米片的AFM表征第53-54页
        4.3.3 三角形WS_2纳米片的拉曼表征第54-55页
    4.4 MoS_2/WS_2异质结的CVD法制备第55-57页
        4.4.1 样品制备第55-56页
        4.4.2 单层MoS_2/WS_2异质结的表征第56-57页
    4.5 本章小结第57-59页
第5章 MoS_2、WS_2及MoS_2/WS_2的摩擦性能研究第59-66页
    5.1 MoS_2、WS_2的AFM表征第59-60页
    5.2 MoS_2、WS_2、MoS_2/WS_2的摩擦性能第60-64页
        5.2.1 厚度对MoS_2、 WS_2、 MoS_2/WS_2摩擦力的影响第60-64页
        5.2.2 扫描速度对MoS_2、WS_2摩擦力的影响第64页
    5.3 本章小结第64-66页
第6章 总结与展望第66-68页
    6.1 总结第66-67页
    6.2 展望第67-68页
参考文献第68-77页
致谢第77-78页
附录A: 个人简历第78页
攻读硕士学位期间发表的论文第78页

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