| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.1 SEM测试 | 第9页 |
| 1.1.2 半导体生长材料监测 | 第9-10页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第10-11页 |
| 1.3 论文工作与结构安排 | 第11-13页 |
| 1.3.1 主要研究工作 | 第11页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第11-13页 |
| 第二章 半导体SEM图像增强 | 第13-26页 |
| 2.1 图像预处理概述 | 第13页 |
| 2.2 增强算法 | 第13-25页 |
| 2.2.1 模糊集增强 | 第14-16页 |
| 2.2.2 伪彩色增强 | 第16-21页 |
| 2.2.3 基于形态学增强 | 第21-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 半导体生长材料图像分割 | 第26-39页 |
| 3.1 基于K-均值聚类的半导体SEM图像分割 | 第26-29页 |
| 3.1.1 K-均值的聚类理论基础 | 第26-28页 |
| 3.1.2 基于K-均值聚类的SEM图像分割 | 第28-29页 |
| 3.2 基于最大类间方差阈值与遗传算法的半导体SEM图像分割 | 第29-38页 |
| 3.2.1 最大类间方差法 | 第29-32页 |
| 3.2.2 遗传算法的应用 | 第32-35页 |
| 3.2.3 基于最大类间方差遗传算法的半导体图像分割 | 第35-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 半导体图像量化方法 | 第39-52页 |
| 4.1 含有伪图的半导体岛屿量化 | 第39-46页 |
| 4.2 密集型分布纳米棒半导体量化 | 第46-51页 |
| 4.2.1 Harris角点检测 | 第47-48页 |
| 4.2.2 密集型分布纳米棒的量化 | 第48-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 总结 | 第52-54页 |
| 5.1 总结 | 第52-53页 |
| 5.2 展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |