氢氟酸介质中锌缓蚀剂的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-16页 |
| ·缓蚀剂概述 | 第7-8页 |
| ·缓蚀剂的技术特点 | 第7页 |
| ·缓蚀剂的发展历史 | 第7-8页 |
| ·缓蚀剂的工作机理 | 第8-10页 |
| ·缓蚀剂的物理化学机理 | 第8-9页 |
| ·缓蚀剂的电化学机理 | 第9-10页 |
| ·缓蚀剂的测试与研究方法 | 第10-11页 |
| ·缓蚀剂在化学清洗中的应用 | 第11-13页 |
| ·化学清洗 | 第11-12页 |
| ·酸洗缓蚀剂的选择 | 第12-13页 |
| ·氢氟酸酸洗缓蚀剂 | 第13页 |
| ·盐酸酸洗缓蚀剂 | 第13页 |
| ·未来展望 | 第13-14页 |
| ·本文选题意义和主要研究结果 | 第14-16页 |
| ·选题意义 | 第14页 |
| ·研究内容 | 第14页 |
| ·本文创新点 | 第14-16页 |
| 第二章 单组分缓蚀剂的筛选 | 第16-23页 |
| ·仪器、试剂和实验方法 | 第16-20页 |
| ·仪器 | 第16页 |
| ·试剂 | 第16-19页 |
| ·实验原理及方法 | 第19-20页 |
| ·结果讨论 | 第20-22页 |
| ·结论 | 第22-23页 |
| 第三章 单组分缓蚀剂缓蚀性能研究 | 第23-45页 |
| ·氢氟酸溶液中苯扎溴铵对锌的缓蚀作用 | 第23-29页 |
| ·实验仪器 | 第23页 |
| ·试剂 | 第23-24页 |
| ·实验部分 | 第24页 |
| ·结果讨论 | 第24-29页 |
| ·氢氟酸介质中DL-α-苯基乙胺对锌的缓蚀作用 | 第29-34页 |
| ·实验仪器 | 第29页 |
| ·试剂 | 第29-30页 |
| ·实验部分 | 第30页 |
| ·结果讨论 | 第30-34页 |
| ·氢氟酸介质中环己酮对锌的缓蚀作用 | 第34-39页 |
| ·实验仪器 | 第34-35页 |
| ·试剂 | 第35页 |
| ·实验部分 | 第35页 |
| ·实验结果与讨论 | 第35-39页 |
| ·氢氟酸介质中司班-20 对锌的缓蚀作用 | 第39-45页 |
| ·实验仪器 | 第39-40页 |
| ·试剂 | 第40页 |
| ·实验部分 | 第40页 |
| ·实验结果与讨论 | 第40-45页 |
| 第四章 复合缓蚀剂的研制与评价 | 第45-57页 |
| ·试剂、仪器和实验方法 | 第45-47页 |
| ·试剂 | 第45-46页 |
| ·仪器 | 第46页 |
| ·实验方法 | 第46-47页 |
| ·复合缓蚀剂的研制 | 第47-48页 |
| ·实验部分 | 第47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-48页 |
| ·复合缓蚀剂的评价 | 第48-57页 |
| ·实验部分 | 第48-49页 |
| ·结果与讨论 | 第49-55页 |
| ·复合缓蚀剂缓蚀作用机理 | 第55-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
