精密喷雾片电铸成型数值分析与实验研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 符号表 | 第9-14页 |
| 1 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 微孔阵列的主要应用 | 第14-15页 |
| 1.2 微孔阵列加工技术 | 第15-20页 |
| 1.2.1 钻削加工 | 第15页 |
| 1.2.2 冲压微孔 | 第15-16页 |
| 1.2.3 微细电火花加工 | 第16-17页 |
| 1.2.4 激光加工 | 第17-18页 |
| 1.2.5 蚀刻加工 | 第18页 |
| 1.2.6 电解加工 | 第18-19页 |
| 1.2.7 微细电铸加工 | 第19-20页 |
| 1.3 精密微孔喷雾片 | 第20-26页 |
| 1.3.1 精密微孔喷雾片的制备方法 | 第23-26页 |
| 1.4 本文研究主要意义 | 第26-27页 |
| 1.5 本文主要研究内容和创新点 | 第27-30页 |
| 1.5.1 主要研究内容 | 第27-28页 |
| 1.5.2 主要创新点 | 第28-30页 |
| 2 过电铸法制备单向喇叭孔理论基础 | 第30-40页 |
| 2.1 电化学沉积基本理论 | 第30-34页 |
| 2.1.1 电铸基本原理 | 第30-31页 |
| 2.1.2 法拉第定律 | 第31-32页 |
| 2.1.3 液相传质理论 | 第32-34页 |
| 2.1.4 电荷转移 | 第34页 |
| 2.2 影响电铸件质量的主要因素 | 第34-36页 |
| 2.3 过电铸基本原理 | 第36-37页 |
| 2.4 过电铸法制备单向喇叭孔工艺流程 | 第37-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 3 喷雾片微孔廓形数值仿真分析 | 第40-52页 |
| 3.1 物理模型 | 第40页 |
| 3.2 控制方程与边界条件 | 第40-42页 |
| 3.3 仿真流程 | 第42-43页 |
| 3.4 仿真结果分析 | 第43-50页 |
| 3.4.1 掩膜斑厚度对微孔廓形的影响 | 第43-47页 |
| 3.4.2 掩膜斑中心间距对微孔廓形的影响 | 第47-49页 |
| 3.4.3 掩膜斑直径对微孔廓形的影响 | 第49-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 4 电铸制备金属喷雾片实验研究 | 第52-70页 |
| 4.1 喷雾片电铸制造流程 | 第52-61页 |
| 4.1.1 掩膜斑制作前处理 | 第52页 |
| 4.1.2 光刻 | 第52-60页 |
| 4.1.3 电铸成型与脱模 | 第60-61页 |
| 4.2 实验材料与廓形检测方法 | 第61-62页 |
| 4.2.1 实验材料 | 第61页 |
| 4.2.2 微孔廓形检测方法 | 第61-62页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第62-68页 |
| 4.3.1 喷雾片厚度对微孔廓形的影响 | 第62-65页 |
| 4.3.2 掩膜斑中心间距对微孔廓形的影响 | 第65-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 5 喷雾片性能评价 | 第70-76页 |
| 5.1 喷雾片的初选 | 第70-71页 |
| 5.2 雾化性能检测 | 第71-75页 |
| 5.2.1 实验准备 | 第71-73页 |
| 5.2.2 雾化检测 | 第73-75页 |
| 5.3 本章小结 | 第75-76页 |
| 6 结论与展望 | 第76-78页 |
| 6.1 结论 | 第76页 |
| 6.2 展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 作者简历 | 第84-86页 |
| 学位论文数据集 | 第86页 |
