基于共面波导的RF MEMS可调滤波器研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS技术 | 第11-12页 |
| 1.3 RF MEMS 滤波器 | 第12-17页 |
| 1.3.1 RF MEMS滤波器简介 | 第12-13页 |
| 1.3.2 RF MEMS滤波器发展现状分析 | 第13-17页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 RF MEMS滤波器的设计理论基础 | 第18-32页 |
| 2.1 共面波导传输线 | 第18-21页 |
| 2.2 两端口网络 | 第21-24页 |
| 2.3 滤波器设计理论 | 第24-31页 |
| 2.3.1 滤波器基础理论 | 第24-30页 |
| 2.3.2 滤波器的设计参数 | 第30-31页 |
| 2.3.3 滤波器设计的步骤和方法 | 第31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 共面波导滤波器的设计 | 第32-48页 |
| 3.1 电磁带隙技术 | 第32-34页 |
| 3.1.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.1.2 电磁带隙结构简介 | 第33-34页 |
| 3.2 缺陷地结构简介 | 第34-35页 |
| 3.3 具有缺陷地结构的带阻滤波器设计 | 第35-42页 |
| 3.3.1 缺陷地结构的谐振单元 | 第35-37页 |
| 3.3.2 缺陷地结构尺寸对幅频特性的影响 | 第37-39页 |
| 3.3.3 带阻滤波器设计 | 第39-42页 |
| 3.4 具有螺旋结构的双阻带带阻滤波器设计 | 第42-47页 |
| 3.4.1 具有螺旋结构的谐振单元 | 第42-45页 |
| 3.4.2 螺旋结构对幅频特性的影响 | 第45-46页 |
| 3.4.3 双阻带带阻滤波器的设计 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 基于RF MEMS的可调滤波器的设计 | 第48-57页 |
| 4.1 RF MEMS开关设计 | 第48-52页 |
| 4.1.1 RF MEMS开关设计 | 第48-49页 |
| 4.1.2 RF MEMS开关机械性能分析 | 第49-50页 |
| 4.1.3 RF MEMS开关电磁特性分析 | 第50-52页 |
| 4.2 RF MEMS可调滤波器的设计 | 第52-56页 |
| 4.2.1 可调DGS谐振器设计 | 第52-54页 |
| 4.2.2 RF MEMS可调带阻滤波器的设计 | 第54-55页 |
| 4.2.3 具有螺旋结构的可调带阻滤波器 | 第55-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 MEMS工艺流程 | 第57-70页 |
| 5.1 MEMS工艺简介 | 第57-62页 |
| 5.1.1 光刻技术 | 第57-59页 |
| 5.1.2 刻蚀技术 | 第59-60页 |
| 5.1.3 清洗技术 | 第60-61页 |
| 5.1.4 蒸发和溅射 | 第61-62页 |
| 5.2 RF MEMS可调滤波器工艺流程设计 | 第62-67页 |
| 5.2.1 滤波器加工工艺流程 | 第62-63页 |
| 5.2.2 MEMS开关结构工艺流程 | 第63-67页 |
| 5.3 测试 | 第67-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第76页 |
