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有机半导体厚度对薄膜晶体管气体传感器性能的影响

摘要第5-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第10-17页
    1.1 研究工作的背景与意义第10页
    1.2 OTFT的发展与现状第10-12页
    1.3 OTFT存在的问题及发展趋势第12-13页
    1.4 OTFT气体传感器的发展与现状第13-15页
    1.5 本论文的主要研究内容第15-17页
第二章 有机薄膜晶体管的基础理论第17-25页
    2.1 OTFT的基本结构第17-18页
    2.2 OTFT的工作原理第18-19页
    2.3 OTFT材料的选择第19-24页
        2.3.1 有机半导体材料第19-22页
        2.3.2 介电层材料第22-23页
        2.3.3 电极材料第23-24页
    2.4 本章小结第24-25页
第三章 有机薄膜晶体管气体传感器的制备与测试第25-38页
    3.1 OTFT气体传感器原理第25-26页
    3.2 OTFT气体传感器的制备第26-29页
        3.2.1 基片的预处理第26-27页
        3.2.2 介电层的制备第27-28页
        3.2.3 有源层的制备第28-29页
        3.2.4 金属电极的制备第29页
    3.3 OTFT气体传感器的性能表征第29-34页
        3.3.1 OTFT的输出特性和转移特性曲线第29-31页
        3.3.2 OTFT电学性能的基本参数第31-33页
            3.3.2.1 载流子迁移率第31-32页
            3.3.2.2 阈值电压第32页
            3.3.2.3 电流开关比第32页
            3.3.2.4 亚阈值斜率第32-33页
            3.3.2.5 电荷陷阱浓度第33页
        3.3.3 OTFT气体传感器的基本参数第33-34页
            3.3.3.1 响应率第33-34页
            3.3.3.2 响应/恢复时间第34页
            3.3.3.3 选择性第34页
            3.3.3.4 重复性第34页
    3.4 OTFT气体传感器的测试环境及方法第34-37页
        3.4.1 OTFT电学性能的测试环境及方法第34-35页
        3.4.2 OTFT气敏性能的测试环境及方法第35-36页
        3.4.3 OTFT薄膜表征环境及方法第36-37页
    3.5 本章小结第37-38页
第四章 CuPc薄膜厚度对有机薄膜晶体管NO2传感器的影响第38-50页
    4.1 研究背景第38-39页
    4.2 器件的设计和制备第39-40页
    4.3 器件电学性能的测试和分析第40-42页
    4.4 器件气敏性能的测试和分析第42-47页
        4.4.1 气敏性能的测试第42-46页
        4.4.2 气敏机理的分析第46-47页
    4.5 有源层的表征和分析第47-49页
    4.6 本章小结第49-50页
第五章 CuPc薄膜厚度对有机薄膜晶体管气体选择性的影响第50-58页
    5.1 研究背景第50-51页
    5.2 器件的设计和制备第51页
    5.3 器件对不同气体的气敏性能及分析第51-56页
        5.3.1 对SO_2气体的气敏性能及分析第52-53页
        5.3.2 对NH_3气体的气敏性能及分析第53-55页
        5.3.3 对H_2S气体的气敏性能及分析第55-56页
    5.4 OTFT气体传感器的气体选择性及分析第56-57页
    5.5 本章小结第57-58页
第六章 全文总结与展望第58-61页
    6.1 全文总结第58-59页
    6.2 后续工作及展望第59-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-68页
攻读硕士学位期间取得的成果第68页

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