摘要 | 第5-6页 |
abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-17页 |
1.1 研究工作的背景与意义 | 第10页 |
1.2 OTFT的发展与现状 | 第10-12页 |
1.3 OTFT存在的问题及发展趋势 | 第12-13页 |
1.4 OTFT气体传感器的发展与现状 | 第13-15页 |
1.5 本论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
第二章 有机薄膜晶体管的基础理论 | 第17-25页 |
2.1 OTFT的基本结构 | 第17-18页 |
2.2 OTFT的工作原理 | 第18-19页 |
2.3 OTFT材料的选择 | 第19-24页 |
2.3.1 有机半导体材料 | 第19-22页 |
2.3.2 介电层材料 | 第22-23页 |
2.3.3 电极材料 | 第23-24页 |
2.4 本章小结 | 第24-25页 |
第三章 有机薄膜晶体管气体传感器的制备与测试 | 第25-38页 |
3.1 OTFT气体传感器原理 | 第25-26页 |
3.2 OTFT气体传感器的制备 | 第26-29页 |
3.2.1 基片的预处理 | 第26-27页 |
3.2.2 介电层的制备 | 第27-28页 |
3.2.3 有源层的制备 | 第28-29页 |
3.2.4 金属电极的制备 | 第29页 |
3.3 OTFT气体传感器的性能表征 | 第29-34页 |
3.3.1 OTFT的输出特性和转移特性曲线 | 第29-31页 |
3.3.2 OTFT电学性能的基本参数 | 第31-33页 |
3.3.2.1 载流子迁移率 | 第31-32页 |
3.3.2.2 阈值电压 | 第32页 |
3.3.2.3 电流开关比 | 第32页 |
3.3.2.4 亚阈值斜率 | 第32-33页 |
3.3.2.5 电荷陷阱浓度 | 第33页 |
3.3.3 OTFT气体传感器的基本参数 | 第33-34页 |
3.3.3.1 响应率 | 第33-34页 |
3.3.3.2 响应/恢复时间 | 第34页 |
3.3.3.3 选择性 | 第34页 |
3.3.3.4 重复性 | 第34页 |
3.4 OTFT气体传感器的测试环境及方法 | 第34-37页 |
3.4.1 OTFT电学性能的测试环境及方法 | 第34-35页 |
3.4.2 OTFT气敏性能的测试环境及方法 | 第35-36页 |
3.4.3 OTFT薄膜表征环境及方法 | 第36-37页 |
3.5 本章小结 | 第37-38页 |
第四章 CuPc薄膜厚度对有机薄膜晶体管NO2传感器的影响 | 第38-50页 |
4.1 研究背景 | 第38-39页 |
4.2 器件的设计和制备 | 第39-40页 |
4.3 器件电学性能的测试和分析 | 第40-42页 |
4.4 器件气敏性能的测试和分析 | 第42-47页 |
4.4.1 气敏性能的测试 | 第42-46页 |
4.4.2 气敏机理的分析 | 第46-47页 |
4.5 有源层的表征和分析 | 第47-49页 |
4.6 本章小结 | 第49-50页 |
第五章 CuPc薄膜厚度对有机薄膜晶体管气体选择性的影响 | 第50-58页 |
5.1 研究背景 | 第50-51页 |
5.2 器件的设计和制备 | 第51页 |
5.3 器件对不同气体的气敏性能及分析 | 第51-56页 |
5.3.1 对SO_2气体的气敏性能及分析 | 第52-53页 |
5.3.2 对NH_3气体的气敏性能及分析 | 第53-55页 |
5.3.3 对H_2S气体的气敏性能及分析 | 第55-56页 |
5.4 OTFT气体传感器的气体选择性及分析 | 第56-57页 |
5.5 本章小结 | 第57-58页 |
第六章 全文总结与展望 | 第58-61页 |
6.1 全文总结 | 第58-59页 |
6.2 后续工作及展望 | 第59-61页 |
致谢 | 第61-62页 |
参考文献 | 第62-68页 |
攻读硕士学位期间取得的成果 | 第68页 |