| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 太阳能电池的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 P-N结 | 第13-14页 |
| 1.3.1 P-N结的形成原理 | 第13页 |
| 1.3.2 P-N结的应用 | 第13-14页 |
| 1.4 太阳能电池的工作原理 | 第14-15页 |
| 1.5 影响太阳能电池转换效率的因素 | 第15-16页 |
| 1.5.1 串联电阻 | 第15页 |
| 1.5.2 复合电流 | 第15页 |
| 1.5.3 掺杂浓度和剖面分布 | 第15-16页 |
| 1.5.4 表面复合速率 | 第16页 |
| 1.5.5 温度 | 第16页 |
| 1.5.6 禁带宽度 | 第16页 |
| 1.6 薄膜太阳能电池 | 第16-21页 |
| 1.6.1 薄膜太阳能电池的分类 | 第16-19页 |
| 1.6.2 薄膜太阳能电池的结构 | 第19页 |
| 1.6.3 薄膜太阳能电池缓冲层材料 | 第19-21页 |
| 1.7 ZnS缓冲层材料 | 第21-24页 |
| 1.7.1 ZnS薄膜的晶体结构与基本性质 | 第21页 |
| 1.7.2 ZnS薄膜的应用及国内外研究状况 | 第21-22页 |
| 1.7.3 ZnS薄膜的制备方法 | 第22-24页 |
| 1.8 本论文的研究意义及研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 实验材料与方法 | 第26-29页 |
| 2.1 实验材料 | 第26-27页 |
| 2.1.1 衬底 | 第26页 |
| 2.1.2 靶材 | 第26-27页 |
| 2.2 实验设备 | 第27页 |
| 2.3 薄膜制备工艺过程 | 第27-28页 |
| 2.4 薄膜结构及性能表征 | 第28-29页 |
| 2.4.1 X射线衍射 | 第28页 |
| 2.4.2 原子力显微镜 | 第28页 |
| 2.4.3 扫描电子显微镜 | 第28页 |
| 2.4.4 紫外可见近红外分光光度计 | 第28-29页 |
| 第三章 ZnO/CZTS P-N结的显微组织结构 | 第29-36页 |
| 3.1 脉冲激光能量对ZnO薄膜显微组织结构的影响 | 第29-31页 |
| 3.1.1 脉冲激光能量对ZnO薄膜结晶质量的影响 | 第29-30页 |
| 3.1.2 脉冲激光能量对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第30-31页 |
| 3.2 氧气分压对ZnO薄膜显微组织结构的影响 | 第31-33页 |
| 3.2.1 氧气分压对ZnO薄膜结晶质量的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.2 氧气分压对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第32-33页 |
| 3.3 衬底温度对ZnO薄膜显微组织结构的影响 | 第33-35页 |
| 3.3.1 衬底温度对ZnO薄膜结晶质量的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.2 衬底温度对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 工艺参数对ZnS薄膜显微组织结构及光学性能的影响 | 第36-50页 |
| 4.1 衬底温度对ZnS薄膜显微组织结构的影响 | 第36-40页 |
| 4.1.1 ZnS薄膜的制备 | 第36页 |
| 4.1.2 衬底温度对ZnS薄膜结晶取向的影响 | 第36-37页 |
| 4.1.3 衬底温度对ZnS薄膜晶粒大小的影响 | 第37页 |
| 4.1.4 衬底温度对ZnS薄膜晶格常数的影响 | 第37-39页 |
| 4.1.5 衬底温度对ZnS薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| 4.2 脉冲激光能量对ZnS薄膜显微组织结构的影响 | 第40-44页 |
| 4.2.1 样品的制备 | 第40页 |
| 4.2.2 脉冲激光能量对ZnS薄膜的结晶取向的影响 | 第40-41页 |
| 4.2.3 脉冲激光能量对ZnS薄膜晶粒大小的影响 | 第41-42页 |
| 4.2.4 脉冲激光能量对ZnS薄膜晶格常数的影响 | 第42页 |
| 4.2.5 脉冲激光能量对ZnS薄膜表面形貌的影响 | 第42-44页 |
| 4.3 ZnS薄膜的光学性能分析 | 第44-48页 |
| 4.3.1 BCC法计算ZnS薄膜的禁带宽度 | 第44-46页 |
| 4.3.2 工艺参数对ZnS薄膜光学性能的影响 | 第46-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第57页 |
