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薄膜电容器用铌酸盐玻璃陶瓷性能与应用研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
1 绪论第12-42页
    1.1 玻璃陶瓷第12-13页
    1.2 铌酸盐玻璃陶瓷研究现状第13-23页
        1.2.1 PNNS玻璃陶瓷第14-17页
        1.2.2 Na_2O,PbO,Nb_2O_5含量对玻璃陶瓷的影响第17-19页
        1.2.3 BNNS,SNNS及A位元素互换第19-22页
        1.2.4 稀土掺杂第22-23页
    1.3 铌酸盐玻璃陶瓷的应用研究第23-28页
        1.3.1 电极工艺与结构的设计第23-26页
        1.3.2 脉冲性能的研究第26-27页
        1.3.3 封装材料第27-28页
    1.4 论文的选题依据及主要内容第28-31页
        1.4.1 选题依据第28-29页
        1.4.2 研究内容第29-30页
        1.4.3 关键问题第30-31页
    1.5 制备及表征方法第31-36页
        1.5.1 实验设备及原料第32-33页
        1.5.2 制备工艺流程第33-34页
        1.5.3 表征方法第34-36页
    参考文献第36-42页
2 玻璃陶瓷物理成型性能的研究第42-59页
    2.1 微晶玻璃DTA曲线分析第43-47页
    2.2 低Nb_2O_5含量玻璃陶瓷物理成型性能的研究(含Pb)第47-50页
    2.3 低Nb_2O_5含量玻璃陶瓷物理成型性能的研究(无Pb)第50-55页
    2.4 本章小结第55-57页
    参考文献第57-59页
3 玻璃陶瓷介电性能的研究第59-88页
    3.1 PS30体系MPB区的细化第59-70页
        3.1.1 黄金分割一维寻优法第59-60页
        3.1.2 铌酸盐玻璃陶瓷的成分设计第60-65页
        3.1.3 介电性能与物相分析第65-70页
    3.2 PS24体系及其MPB区的细化第70-74页
    3.3 基于PS24-0.46体系的优化第74-82页
        3.3.1 Fe_2O_3添加对介电性能的影响第74-80页
        3.3.2 Bi_2O_3添加对介电性能的影响第80-82页
    3.4 本章小结第82-83页
    参考文献第83-88页
4 玻璃陶瓷在薄膜电容器中的应用探索第88-126页
    4.1 薄膜制备技术及生长机理第88-90页
    4.2 工艺参数对薄膜结构与性能的影响第90-116页
        4.2.1 衬底材料的选择第91-97页
        4.2.2 氧气压强第97-103页
        4.2.3 衬底温度第103-109页
        4.2.4 热处理工艺第109-116页
    4.3 薄膜电容的封装评测第116-119页
    4.4 本章小结第119-121页
    参考文献第121-126页
5 结论与展望第126-129页
    5.1 主要内容与结论第126-127页
    5.2 今后的工作展望第127-129页
攻读博士学位期间取得的学术成果第129-130页
致谢第130-131页
作者简介第131页

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