面向硅基集成的光器件的研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 硅基光子学 | 第12-15页 |
| 1.2 光学微腔 | 第15-17页 |
| 1.3 回音壁模式微腔的应用 | 第17-20页 |
| 1.4 论文选题依据和主要内容 | 第20-21页 |
| 1.4.1 选题依据 | 第20页 |
| 1.4.2 主要内容 | 第20-21页 |
| 参考文献 | 第21-28页 |
| 第二章 光学微腔模拟仿真 | 第28-42页 |
| 2.1 光学追迹仿真 | 第28-29页 |
| 2.1.1 光学追迹简介 | 第28页 |
| 2.1.2 光学追迹模拟 | 第28-29页 |
| 2.2 轴对称下弱形式模拟求解 | 第29-33页 |
| 2.2.1 弱形式简介 | 第29-32页 |
| 2.2.2 弱形式求解模式本征电场 | 第32-33页 |
| 2.3 保角变换方法计算 | 第33-36页 |
| 2.3.1 保角变换简介 | 第33-35页 |
| 2.3.2 保角变换计算 | 第35-36页 |
| 2.4 FDTD模拟仿真 | 第36-37页 |
| 2.4.1 FDTD计算简介 | 第36页 |
| 2.4.2 FDTD计算模拟 | 第36-37页 |
| 2.5 公式数值计算方法 | 第37-38页 |
| 2.6 本章小结 | 第38-40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
| 第三章 光学微腔加工 | 第42-58页 |
| 3.1 机械抛光制备光学微腔 | 第42-48页 |
| 3.1.1 机械抛光简介 | 第42页 |
| 3.1.2 机械研磨抛光的机理 | 第42-43页 |
| 3.1.3 微腔加工实验 | 第43-48页 |
| 3.2 微加工制备微盘 | 第48-55页 |
| 3.2.1 微加工工艺简介 | 第48-50页 |
| 3.2.2 微加工制备微盘步骤 | 第50-55页 |
| 3.3 激光重融制备片上硅球 | 第55-56页 |
| 3.3.1 激光重融简介 | 第55页 |
| 3.3.2 激光重融实验制备片上微球 | 第55-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 第四章 光学微腔的耦合 | 第58-78页 |
| 4.1 微腔耦合的原理 | 第58-59页 |
| 4.2 波导耦合 | 第59-65页 |
| 4.2.1 波导耦合微腔简介 | 第59-61页 |
| 4.2.2 SOI微盘耦合模拟 | 第61-63页 |
| 4.2.3 波导与微盘的制备 | 第63-65页 |
| 4.3 棱镜耦合 | 第65-71页 |
| 4.3.1 棱镜耦合介绍 | 第65-66页 |
| 4.3.2 棱镜耦合平台的搭建 | 第66-67页 |
| 4.3.3 棱镜耦合试验 | 第67-69页 |
| 4.3.4 棱镜耦合硅盘的实验 | 第69-71页 |
| 4.4 拉锥光纤耦合 | 第71-75页 |
| 4.4.1 拉锥光纤介绍 | 第71-72页 |
| 4.4.2 光纤耦合原理 | 第72-73页 |
| 4.4.3 拉锥光纤的电场分析 | 第73页 |
| 4.4.4 拉锥光纤耦合实验 | 第73-75页 |
| 4.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 第五章 结论与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 结论 | 第78-79页 |
| 5.2 展望 | 第79-80页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-84页 |
