| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9页 |
| 1.2 关键尺寸检测的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 关键尺寸检测方法 | 第9-11页 |
| 1.2.2 基于 AFM 技术的关键尺寸检测方法 | 第11-13页 |
| 1.3 课题研究意义和工作内容 | 第13-14页 |
| 第二章 音叉探针的有限元分析 | 第14-29页 |
| 2.1 原子力显微镜 | 第14-17页 |
| 2.1.1 原子力显微镜基本原理 | 第14-16页 |
| 2.1.2 原子力显微镜工作模式 | 第16-17页 |
| 2.2 基于石英音叉的自感应探针 | 第17-18页 |
| 2.3 石英音叉探针的有限元仿真分析 | 第18-28页 |
| 2.3.1 音叉探针有限元模型的建立 | 第19-22页 |
| 2.3.2 音叉探针静态力分析和动力学分析 | 第22-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 系统搭建和测头开发 | 第29-43页 |
| 3.1 测量实验系统 | 第29-37页 |
| 3.1.1 锁相放大器 | 第30-32页 |
| 3.1.2 锁相环 | 第32-36页 |
| 3.1.3 纳米位移台 | 第36页 |
| 3.1.4 光学辅助进针系统 | 第36-37页 |
| 3.2 探针信号处理电路的设计 | 第37-42页 |
| 3.2.1 探针信号检测方法 | 第37-38页 |
| 3.2.2 探针信号处理电路 | 第38-41页 |
| 3.2.3 A-Probe 夹持结构设计 | 第41-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 原子力显微镜测头性能测试及实验分析 | 第43-71页 |
| 4.1 纳米位移台校准实验 | 第43-47页 |
| 4.2 单测头性能实验分析 | 第47-50页 |
| 4.3 AFM 动态测量具体实施方案 | 第50-51页 |
| 4.4 AFM 动态测量信号实验分析 | 第51-70页 |
| 4.4.1 基于 LIA 幅度信号测头性能测试实验 | 第51-55页 |
| 4.4.2 带幅度补偿相位信号对比实验 | 第55-59页 |
| 4.4.3 基于 PLL 频率调制信号测头性能测试实验 | 第59-67页 |
| 4.4.4 双探针对顶进针归零测量实验 | 第67-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |