| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 多孔硅的研究进展 | 第12-18页 |
| 1.2.1 多孔硅的结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 多孔硅的应用 | 第13-15页 |
| 1.2.3 多孔硅的制备方法 | 第15-18页 |
| 1.3 镁热还原法的研究进展 | 第18-19页 |
| 1.3.1 镁热还原法制备金属单质 | 第18-19页 |
| 1.3.2 镁热还原法制备无机材料 | 第19页 |
| 1.4 多孔硅基传感器的研究 | 第19-23页 |
| 1.4.1 多孔硅气敏传感 | 第20-21页 |
| 1.4.2 多孔硅湿敏传感 | 第21-23页 |
| 1.4.3 多孔硅有机蒸汽传感 | 第23页 |
| 1.5 本论文的研究意义、目标及研究内容 | 第23-27页 |
| 1.5.1 本论文的研究意义 | 第23-24页 |
| 1.5.2 本论文的研究目标及研究内容 | 第24-25页 |
| 1.5.3 技术路线 | 第25-27页 |
| 2 实验部分 | 第27-31页 |
| 2.1 实验试剂及设备仪器 | 第27-29页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第27页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第27-28页 |
| 2.1.3 分析仪器 | 第28-29页 |
| 2.2 表征及性能测试 | 第29-31页 |
| 2.2.1 X射线粉末衍射分析 | 第29页 |
| 2.2.2 扫描电镜分析 | 第29页 |
| 2.2.3 透射电镜分析 | 第29页 |
| 2.2.4 能谱分析 | 第29-31页 |
| 3 镁热还原MCM-41分子筛制备有序多孔硅 | 第31-41页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 MCM-41二氧化硅介孔分子筛的制备 | 第31-34页 |
| 3.2.1 MCM-41二氧化硅介孔分子筛的制备方法 | 第31-32页 |
| 3.2.2 MCM-41二氧化硅介孔分子筛的表征 | 第32-34页 |
| 3.3 Si-MCM-41的制备 | 第34-40页 |
| 3.3.1 Si-MCM-41的制备方法 | 第34页 |
| 3.3.2 反应条件的确定 | 第34-36页 |
| 3.3.3 产物表征 | 第36-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 镁热还原SBA-15分子筛制备有序多孔硅 | 第41-51页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 SBA-15二氧化硅介孔分子筛的制备 | 第41-44页 |
| 4.2.1 SBA-15二氧化硅介孔分子筛的制备方法 | 第41-42页 |
| 4.2.2 SBA-15二氧化硅介孔分子筛的表征 | 第42-44页 |
| 4.3 Si-SBA-15的制备 | 第44-48页 |
| 4.3.1 Si-SBA-15的制备方法 | 第44页 |
| 4.3.2 产物表征 | 第44-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-51页 |
| 5 多孔硅湿度传感性能的研究 | 第51-63页 |
| 5.1 引言 | 第51-53页 |
| 5.2 实验设计 | 第53-56页 |
| 5.2.1 敏感元件的制备 | 第53-54页 |
| 5.2.2 实验装置的设计 | 第54-56页 |
| 5.3 实验过程 | 第56-57页 |
| 5.3.1 准备工作 | 第56页 |
| 5.3.2 多孔硅湿敏元件的感湿特性测试 | 第56-57页 |
| 5.4 实验结果与分析 | 第57-62页 |
| 5.4.1 湿敏元件的感湿特性测试结果 | 第57-59页 |
| 5.4.2 湿敏元件的响应时间测试结果 | 第59-60页 |
| 5.4.3 湿敏元件的湿滞特性测试结果 | 第60-61页 |
| 5.4.4 湿敏元件的重复性测试结果 | 第61-62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 结论和展望 | 第63-65页 |
| 6.1 结论 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第73-74页 |