添加混合气体制备纳米金刚石薄膜及其机理研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 膜层的形核及生长 | 第12-17页 |
| 1.2.1 增强形核密度的方法 | 第12-15页 |
| 1.2.2 膜层沉积过程中的主要参数 | 第15-17页 |
| 1.3 低温等离子体的诊断方法 | 第17-20页 |
| 1.3.1 朗缪尔探针诊断 | 第17-18页 |
| 1.3.2 质谱诊断 | 第18页 |
| 1.3.3 波干涉诊断 | 第18-19页 |
| 1.3.4 光谱诊断 | 第19-20页 |
| 1.4 膜层的性能与应用 | 第20-22页 |
| 1.4.1 机械性能及其应用 | 第20-21页 |
| 1.4.2 光学性能及其应用 | 第21页 |
| 1.4.3 声学性能及其应用 | 第21-22页 |
| 1.4.4 电学性能及其应用 | 第22页 |
| 1.5 本文研究的目的意义及研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 实验装置及检测方法 | 第24-30页 |
| 2.1 实验设备与实验材料 | 第24-25页 |
| 2.2 热丝的碳化 | 第25-26页 |
| 2.3 检测方法 | 第26-30页 |
| 2.3.1 等离子体发射光谱法 | 第26-27页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第27页 |
| 2.3.3 激光拉曼光谱 | 第27-28页 |
| 2.3.4 X射线衍射 | 第28-30页 |
| 第3章 不同气相成分对薄膜制备的影响 | 第30-48页 |
| 3.1 实验方案 | 第30-31页 |
| 3.2 氮气浓度对薄膜制备的影响 | 第31-36页 |
| 3.3 惰性气体浓度对薄膜制备的影响 | 第36-45页 |
| 3.3.1 氩气浓度对薄膜制备的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.2 氦气浓度对薄膜制备的影响 | 第38-40页 |
| 3.3.3 不同体系下等离子的发射光谱分析 | 第40-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-48页 |
| 第4章 混合气体对薄膜的影响及复合膜层的制备 | 第48-66页 |
| 4.1 氩氮混合气体对薄膜的影响及机理研究 | 第48-61页 |
| 4.1.1 实验方案 | 第49页 |
| 4.1.2 低浓度混合气体对膜层沉积的影响 | 第49-51页 |
| 4.1.3 较低浓度混合气体对沉积膜层的影响 | 第51-52页 |
| 4.1.4 较高浓度混合气体对沉积膜层的影响 | 第52-58页 |
| 4.1.5 高浓度混合气体对沉积膜层的影响 | 第58-61页 |
| 4.2 复合膜层的制备 | 第61-63页 |
| 4.2.1 实验方案 | 第62页 |
| 4.2.2 实验结果 | 第62-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-66页 |
| 第5章 总结 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-76页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
