MEMS加速度计开环检测电路的设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 MEMS加速度计的国内外研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12页 |
| 1.3 研究目的及意义 | 第12页 |
| 1.4 研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 电容式加速度计工作原理 | 第14-18页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 电容式加速度计工作原理 | 第14-17页 |
| 2.2.1 机械结构工作原理 | 第14-15页 |
| 2.2.2 加速度信号检测原理 | 第15-17页 |
| 2.3 开环系统检测原理 | 第17页 |
| 2.4 本章小结 | 第17-18页 |
| 第3章 开环系统设计及SIMULINK模型验证 | 第18-36页 |
| 3.1 引言 | 第18页 |
| 3.2 开环系统架构设计 | 第18-19页 |
| 3.3 差动电容检测方式分析比较 | 第19-21页 |
| 3.3.1 开关电容型 | 第19-20页 |
| 3.3.2 调制解调型 | 第20-21页 |
| 3.4 调制方式的研究 | 第21-25页 |
| 3.4.1 振幅调制 | 第21-24页 |
| 3.4.2 频率调制 | 第24页 |
| 3.4.3 相角调制 | 第24-25页 |
| 3.5 解调方式的研究 | 第25-31页 |
| 3.5.1 包络检波 | 第25-26页 |
| 3.5.2 相敏解调 | 第26-29页 |
| 3.5.3 采样保持解调 | 第29-31页 |
| 3.6 调制波形的研究 | 第31-32页 |
| 3.7 系统线性模型建立及仿真验证 | 第32-35页 |
| 3.7.1 机械结构的数学模型 | 第32-34页 |
| 3.7.2 开环系统的SIMULINK模型 | 第34-35页 |
| 3.8 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 开环检测系统电学模型 | 第36-58页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 Verilog A的简单介绍 | 第36页 |
| 4.3 电容式MEMS加速度计电学模型的建立 | 第36-44页 |
| 4.3.1 机械结构电学模型 | 第36-40页 |
| 4.3.2 差动压控电容模型 | 第40-43页 |
| 4.3.3 整体MEMS电学模型 | 第43-44页 |
| 4.4 调制解调型检测电路结构的研究 | 第44-48页 |
| 4.5 前置buffer的模型及指标 | 第48-49页 |
| 4.6 采样保持解调时序与载波时序 | 第49-50页 |
| 4.7 仪表放大器的电学模型 | 第50-51页 |
| 4.8 开关电容滤波器的电学模型 | 第51-56页 |
| 4.8.1 滤波器的近似函数 | 第51页 |
| 4.8.2 有源2阶低通滤波器 | 第51-54页 |
| 4.8.3 开关电容等效电阻 | 第54-55页 |
| 4.8.4 2 阶开关电容滤波器电路 | 第55-56页 |
| 4.9 开环系统的电学模型及仿真验证 | 第56-57页 |
| 4.10 本章小节 | 第57-58页 |
| 第5章 电路设计 | 第58-75页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 前置buffer电路设计 | 第58-63页 |
| 5.3 采样保持解调时钟与载波控制时钟产生电路 | 第63-67页 |
| 5.4 开关电容低通滤波器 | 第67-72页 |
| 5.4.1 开关的实现 | 第67-68页 |
| 5.4.2 两相非交叠时钟电路的理论分析 | 第68-71页 |
| 5.4.3 开关电容低通滤波器电路 | 第71-72页 |
| 5.5 开环检测系统电路结构 | 第72-74页 |
| 5.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 第6章 总结与展望 | 第75-76页 |
| 6.1 总结 | 第75页 |
| 6.2 展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附录A 理想电学模块的Verilog A代码 | 第80-83页 |
| 个人简历 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第84页 |
