区熔硅芯炉中五孔感应加热线圈的分析与优化设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-9页 |
| 1.3 感应加热原理与特点 | 第9-13页 |
| 1.3.1 感应加热原理 | 第9-10页 |
| 1.3.2 三大效应 | 第10-12页 |
| 1.3.3 三大效应对单晶拉制的影响 | 第12-13页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第13-15页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.4.2 课题主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 五孔线圈的数值分析 | 第15-27页 |
| 2.1 五孔线圈拉制单晶低质量的原因分析 | 第15-16页 |
| 2.2 电磁场基本理论 | 第16-20页 |
| 2.2.1 麦克斯韦方程组 | 第16-18页 |
| 2.2.2 电磁场的边界条件 | 第18-20页 |
| 2.3 五孔线圈电磁场模型的建立 | 第20-23页 |
| 2.4 五孔线圈磁场分析 | 第23-24页 |
| 2.5 槽路长度对磁场的影响 | 第24-25页 |
| 2.6 温度场的数值分析 | 第25-26页 |
| 2.7 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 硅芯炉的有限元模型及仿真分析 | 第27-36页 |
| 3.1 有限元介绍 | 第27页 |
| 3.2 基于ANSYS的硅芯炉仿真实现流程 | 第27-29页 |
| 3.2.1 建立有限元模型 | 第27-28页 |
| 3.2.2 添加材料属性 | 第28页 |
| 3.2.3 网格划分 | 第28-29页 |
| 3.2.4 添加载荷及求解 | 第29页 |
| 3.3 电磁场仿真结果的对比分析 | 第29-34页 |
| 3.4 温度场仿真结果的对比分析 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 感应加热电源的设计 | 第36-43页 |
| 4.1 感应加热电源总体结构 | 第36页 |
| 4.2 主电路参数设计 | 第36-42页 |
| 4.2.1 整流侧参数计算 | 第36-37页 |
| 4.2.2 逆变器参数设计及器件选型 | 第37-38页 |
| 4.2.3 负载匹配方式的选择及参数计算 | 第38-40页 |
| 4.2.4 变压器参数设计 | 第40-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 5 实验结果与分析 | 第43-50页 |
| 5.1 感应线圈的设计 | 第43-44页 |
| 5.2 电路输出波形 | 第44页 |
| 5.3 传统线圈感生电动势波形分析 | 第44-46页 |
| 5.4 改进线圈感生电动势波形分析 | 第46-49页 |
| 5.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 6 全文总结与展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 在校期间所发表论文 | 第55页 |
