| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 金刚石的结构 | 第13页 |
| 1.3 金刚石膜的性质及应用 | 第13-14页 |
| 1.4 金刚石膜的抛光机理 | 第14-16页 |
| 1.5 金刚石膜的抛光技术 | 第16-21页 |
| 1.5.1 机械抛光 | 第16-17页 |
| 1.5.2 化学辅助机械抛光 | 第17页 |
| 1.5.3 热化学抛光 | 第17-18页 |
| 1.5.4 等离子体刻蚀抛光 | 第18-19页 |
| 1.5.5 离子束抛光 | 第19页 |
| 1.5.6 激光抛光 | 第19页 |
| 1.5.7 其他抛光 | 第19-20页 |
| 1.5.8 各抛光方法的特点比较 | 第20-21页 |
| 1.6 课题的研究背景、重要性及意义 | 第21-22页 |
| 1.7 有关金刚石涂层拉伸模具研究的介绍 | 第22页 |
| 1.8 本文的研究内容及技术路线 | 第22-25页 |
| 第二章 CVD金刚石涂层拉伸模具内孔的抛光装置研制 | 第25-33页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 CVD金刚石涂层拉伸模具内孔的抛光装置的总体设计 | 第25-28页 |
| 2.2.1 CVD金刚石涂层拉伸模具内孔的抛光的原理 | 第25-26页 |
| 2.2.2 CVD金刚石涂层拉伸模具内孔的抛光装置的总体设计 | 第26页 |
| 2.2.3 抛光装置各模块功能 | 第26-28页 |
| 2.3 CVD金刚石涂层拉伸模具内孔的抛光装置各模块设计 | 第28-32页 |
| 2.3.1 模具装夹及传动设计 | 第28-30页 |
| 2.3.2 抛光头及传动设计 | 第30-31页 |
| 2.3.3 电磁感应加热选用 | 第31页 |
| 2.3.4 抛光装置床身设计 | 第31-32页 |
| 2.4 CVD金刚石涂层拉伸模具内孔的抛光装置 | 第32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 金刚石涂层拉伸模具内孔的机械抛光工艺研究 | 第33-53页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 实验条件 | 第33-36页 |
| 3.2.1 实验材料 | 第33-34页 |
| 3.2.2 实验设备 | 第34-36页 |
| 3.3 实验方法 | 第36页 |
| 3.4 粗抛实验 | 第36-45页 |
| 3.4.1 模具转速对抛光效果的影响 | 第36-38页 |
| 3.4.2 抛光载荷对抛光效果的影响 | 第38-41页 |
| 3.4.3 粗抛实验工艺参数的优选值 | 第41-43页 |
| 3.4.4 考虑抛光头往复运动的粗抛实验 | 第43-45页 |
| 3.5 半精抛实验 | 第45-50页 |
| 3.5.1 模具转速对抛光效果的影响 | 第45-47页 |
| 3.5.2 抛光载荷对抛光效果的影响 | 第47-49页 |
| 3.5.3 半精抛实验的优选值 | 第49-50页 |
| 3.6 机械抛光实验优化 | 第50-51页 |
| 3.7 高效机械抛光分析 | 第51页 |
| 3.8 本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 金刚石涂层拉伸模具内孔的化学机械抛光工艺研究 | 第53-59页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 抛光头材料选择的实验 | 第53-55页 |
| 4.2.1 实验条件及安排 | 第53-54页 |
| 4.2.2 实验结果及分析 | 第54-55页 |
| 4.3 温度对化学机械抛光的影响实验 | 第55-57页 |
| 4.3.1 实验条件及安排 | 第55-56页 |
| 4.3.2 实验结果与分析 | 第56-57页 |
| 4.4 化学机械抛光工艺参数的优选值 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 总结 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第67页 |
